中古 TEGAL 901e /903e TTW, #12388 を販売中

TEGAL 901e/903e薄膜ウエハ（TFW）エッチャー/アッシャーは、高度なプロセス制御と優れたウエハスループットを実現する高性能システムです。高速かつスムーズに生産スループットを管理することができ、非常に困難な構造のための完璧なプロセスを保証します。この汎用性の高いエッチャー/アッシャーには、エッチング前駆体、ガス、圧力モニターなどの幅広いプロセス変数が組み込まれており、柔軟性が高く信頼性が高く再現性の高いドリラーがあります。TEGAL 901e/903eのSF 1000の微細加工技術は精密適応性の製造の進歩を支えるように設計されています。自動デュアルステージエッチャーは、優れたエッチング精度、均一性、および全体的な歩留まりを迅速かつ効果的に提供するように設計されています。再現可能な精密エッジにより、ほぼ完璧なマスキングが維持され、基板の損傷が軽減されます。統合されたサイドウォールプロファイリング機能により、直感的でカスタマイズされたプロセス制御により、望ましいエッチング特性と結果を達成できます。TEGAL 901e/903eは使いやすいロールアウト機能を提供します。直感的なユーザーインターフェイスにより、プログラム可能なプロセスレシピと手順で簡単な起動とシャットダウンが可能です。一定の品質を確保するために、プロセス追跡機能は、正確で便利なステップバイステップのトレーサビリティを提供します。ライブデータ解析により、オペレータはウェーハの特性や応答に応じてパラメータを調整することができます。901e/903eは、柔軟性と汎用性を高めるために、塩素、三フッ化窒素、酸素濃縮空気を含むTEGALプロセス前駆体およびTHP対応ガスの配列と互換性があります。TF 1440ウェーハハンドラは、高度なロボットウェーハ操作機能を提供し、TEGALプロセス防腐剤（サフィックス「T」）に準拠しています。TEGAL 901e/903e TFWエッチャー/アッシャーは、半導体業界での大量生産に理想的で、コンタクトホール、ファンアウト、および金属堆積物の信頼性と正確な表面洗浄とエッチングを提供します。このエッチャー/アッシャーは、妥協のない製品品質で優れたスループットを提供する可能性を秘めています。