中古 TEGAL 901B #9262409 を販売中

TEGAL 901Bエッチャー/アッシャーは、さまざまな大量のアプリケーションに優れた加工結果を提供するように設計された高性能で頑丈な機器です。高密度・大容量の基板をエッチング・アッシングするための優れた性能と優れた結果を提供する高度な機能を備えています。901Bは、厚さ7インチ（18 cm）の石英合金チャンバーと、最大7 x 8。5インチ（18 x 22 cm）の広い表面領域を処理するように設計されたデュアル10インチ（25 cm）合金表面エッチャーにより、高度な処理能力を提供します。また、高解像度フィルタプラス光学設計を備えており、最大1ミクロン（0。001 mm）の高解像度を実現しています。TEGAL 901Bの堅牢な設計は、最大38 fpm （67。3 cm/s）の高速を提供し、有名なエッチフィルム技術で大きな基板を処理するための理想的なシステムであることを保証します。また、DCT （Distributed Computing Technology）を搭載しており、エッチング速度と効率を最大化し、ウェハツーダイまたはエンクロージャフィルタの互換性を実現します。901Bは、高度な電子サイクロトロン共鳴（ECR）ガスプラズマ技術により、優れたエッチングとアッシングの結果を達成しています。反応ガスモードと非反応ガスモードの両方でエッチングおよびアッシングが可能です。また、精密ICR （Ion Cyclotron Resonance）オプションにより、アニールやスパッタエッチングにも使用できます。TEGAL 901Bには、直感的なユーザーインターフェイス、マルチレベルのアクセス制御、RCC （Remote Control Centre）サーバー統合オプションなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能が含まれています。また、IBM対応のPC制御ユニットとEDX（電子分散X線）ビジュアルメトロロジーマシンが付属しており、エッチングおよびアッシング結果の精度と精度を保証します。全体として、901Bは、大きな基板の優れたエッチング、アッシング、アニール結果を提供する信頼性の高い汎用性の高いエッチャー/アッシャツールです。その高度な機能と柔軟性と直感的なユーザーインターフェースは、大量生産アプリケーションや研究開発プロセスに最適な資産です。