中古 TEGAL 901ACS #9395520 を販売中

TEGAL 901ACS etch/ashは、優れた機能を持つ高度なエッチング装置です。コンタミネーションのリスクを低減する自己封じ込め機能と、スループットとコスト削減を実現するシングルウェハバッチプロセスを備えています。このシステムは、正確で一貫した操作を提供する機械的および電気的設計を備えており、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたプロセスコントローラを備えており、ユニットの設定やパラメータに簡単にアクセスできます。901ACSエッチャーには、SF6と塩素という2つのプロセスガスが標準装備されています。塩素ガスはシリコンウェーハをエッチングするために使用され、SF6ガスはエッチング中に発生する表面汚染物質を除去するために使用されます。また、100mmから300mmまで幅広いウエハサイズに対応できます。ウェーハサイズが自動的に検出され、プロセスパラメータが調整されます。TEGAL 901ACSは、最大12個のウェーハを同時に処理できる大容量のチャンバーを備えています。このツールは自動クールダウン機能も備えており、チャンバ環境が安全な温度に保たれるようにします。これはまた、プロセスパラメータの一貫性を保つのに役立ちます。901ACSは、高精度なプロセス制御のためにデュアル周波数AC電源を使用し、結果の再現性を確保します。さらに、過電圧や過電流保護、グラウンド検出などの安全機能を備えています。このモデルはまた、機器の機能をアップグレードして拡張することを容易にするモジュラー設計を備えています。TEGAL 901 ACS etcher/ashersは、多くのアプリケーションの要件に合わせてカスタマイズされたさまざまなプロセスオプションを備えています。堅牢な設計により、大量生産に適しており、使いやすさにより、少量のラボに最適です。精度と柔軟性により、精密なエッチングパラメータを必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。