中古 TEGAL 901ACS #293651580 を販売中

TEGAL 901ACSは、半導体加工装置のリーダーであるTEGAL Corporationによって設計および製造されたエッチャー/灰です。901ACSは、高性能プラズマエッチングおよびクリーニングアプリケーション用に特別に設計されています。クラス最高のスループットを有しており、優れた精度を維持しながら処理時間を短縮することができます。デュアルチャンバー設計により、ユーザーは同じチャンバー内でエッチングとクリーニングプロセスの両方を実現できます。TEGAL 901ACSは、標準化されたガスを提供し、メンテナンスを簡素化することによってコストを削減するために、アップフロントガスキャビネットと簡素化されたガス供給装置を備えています。精密光学および自動化された制御システムは、再現性のある信頼性の高いプロセス結果を保証するのに役立ちます。さらに、大きなビューポートは、プロセス制御、簡単なメンテナンス、プロセス全体の表示のためのチャンバーの妨げられないビューを提供します。901ACSの高出力RFジェネレータは、400ワット、13。56 Mhzのプラズマ源を生成することができます。ユニットはまた、追加の柔軟性のために利用可能なプロセスレシピの広い範囲を持っています。さらに、TEGAL 901ACSには高度なイオンソース設計が組み込まれており、エッチングまたはクリーンなパフォーマンスで可能な限り最高の均一性を提供します。901ACSは安全性と信頼性を念頭に設計されています。人員、機器、環境を保護するさまざまな安全機能を備えています。専用のチラーと水のろ過ユニット、赤外線安全センサー、フェイルセーフシャットダウン機などがあります。要するに、TEGAL 901ACSは、強力なパフォーマンス、最先端の技術、高度な安全機能を組み合わせて、ユーザーに信頼性の高いエッチングとクリーニング体験を提供します。最短時間で優れたプロセス結果を達成する必要があるユーザーに最適です。高いスループット、精密光学、高度な制御ツールにより、901ACSは半導体エンジニアと技術者の両方が求めている結果を提供することができます。