中古 TEGAL 901 #9408120 を販売中

TEGAL 901は、高度なエッチング技術を使用してカスタマイズされたウェハを精密に製造する自動ウェハ製造装置です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、ダイヤモンド様材料など、さまざまな材料で高解像度、高精度のウエハ生産を行うことができます。エッチングプロセスは、熱損傷を低減し、処理される材料の品質を維持するように設計されています。このユニットは、可変エッチング時間と高度なエッチング・レシピを使用して、優れたプロセス制御を実現し、優れた生産スループットと歩留まりを実現します。901はエッチング処理に必要な酸蒸気を分配する統合ガスキャビネットが装備されています。このマシンは、さまざまなウェットエッチングやドライエッチングを実行することができます。ウェットエッチングには、選択的エッチング、ホット蛍光エッチング、ウェットブラストなどがあります。これらのプロセスは、優れたプロセス制御、均一性、および高い歩留まりを提供します。TEGAL 901のドライエッチングは、エッチングプロセスにおける汚染のリスクを低減するように設計されています。このツールは、より高い温度で動作するICP-RIE （Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch）プロセスを使用して、均一性を促進し、エッチング面でより良いプロファイルを作成します。このアセットは、Micro Electrical Mechanical Systems製品に最適化された独自のMEMSエッチングプロセスも提供します。901は、競合他社よりも高い収率の製品を低コストで生産できるエッチングモデルを提供するために特別に設計されています。装置の厳密なプロセス制御、均一性および精密はいろいろなプロダクトタイプのための改善された生産品質そして収穫を提供します。統合されたガスキャビネットはより速く、より効率的なエッチングプロセスを可能にし、高度なエッチングレシピは優れたプロセス制御と歩留まりを提供します。