中古 TEGAL 901 #9250123 を販売中

TEGAL 901は、半導体製造プロセスで使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチングまたはアッシャー材料のために、最大550°Cの温度を供給することができます。さらに、901に室温と550°Cの最高の間の温度を調節できる統合された温度調節器があります。これにより、均一な温度分布を確保し、基板の過度の加熱を防止します。TEGAL 901には、エッチング/アッシング性能を最適化するために設計された、いくつかの高度な機能が搭載されています。これらにはRFF （Radio Frequency Field）爆撃が含まれ、サンプル全体の均一性を確保するのに役立ちます。さらに、901は真空機能を備えているため、処理速度が向上し、精度と制御が向上します。TEGAL 901は、フッ化水素酸とバッファード酸化物エッチング溶液を利用したウェットエッチングとドライエッチングの組み合わせを使用しています。この組み合わせにより、複数のレベルのエッチングを実現し、より高いレベルのエッチング精度を実現します。また、901は三フッ化塩素などのエッチングガスを使用したドライエッチングプロセスを採用しており、表面の損傷を最小限に抑え、エッチング効率を高めています。TEGAL 901は、オペレータを害から保護するように設計されたいくつかの安全機能を備えています。これらの特徴は、圧力、温度、またはガス濃度の安全でないレベルが検出された場合に活性化するセンサーを備えた封止された処理チャンバーを含みます。さらに、901は温度と圧力カットオフシステムで武装しており、安全でない状態が検出された場合は自動的に処理を停止します。結論として、TEGAL 901は、半導体製造プロセスで使用するために特別に設計された高品質のエッチャー/アッシャーです。RFF砲撃やドライエッチング技術などの高度な機能により、最適な性能が得られ、安全性がオペレータを害から保護します。901は精密で制御された結果の材料をエッチングするための信頼性が高く効率的なツールです。