中古 TEGAL 901 #9226737 を販売中

TEGAL 901は、高品質で信頼性の高い高精度な結果を提供するように設計された高度な半導体エッチング装置です。901は集積回路の生産のために造られ、高度の研究所および半導体およびICの製作プロセスのために完全です。TEGAL 901は、金属エッチング、ディープエッチング、MEMSエッチングなど、幅広いエッチング処理が可能なシングルシステムエッチングユニットです。高度な制御システムと洗練されたウェーハ処理技術を備えており、プロセスを最適化し、品質を犠牲にすることなく完璧な結果を提供します。901は、6wayミラーを備えた200mm垂直エッチングチャンバーを備えています。ウェーハ全体に均一なエッチング加工が可能で、6ウェイミラーにより精密なエッチングが可能です。さらに、TEGAL 901はマルチターゲティング機能によりエッチング効率とスループットを最大化するように設計されています。901は、高度なウエハハンドリング機能も備えています。最大200mmウェーハの完全自動ロード、アンロード、転送、および拒否管理を提供します。これにより、遅延なく一貫した高精度な結果が保証されます。高度なウェハハンドリングマシンには、正確な自動ウェハローディングとアンロードのためのマルチポジション真空アームも含まれています。TEGAL 901は、洗練されたIC製造のために構築され、その洗練されたソフトウェアとハードウェアは、最先端のウェーハ処理オプションを提供します。そのソフトウェアツールは、マルチタスクプログラミングと監視機能を備えているため、ユーザーはプロセスを簡単にプログラムして監視し、正確な結果を得ることができます。その高度なソフトウェアには、複雑なプロセスのための自動レシピ選択も含まれており、ユーザーはさまざまなレシピから選択し、手動操作の必要性を減らすことができます。901は、信頼性と正確な結果を保証する優れたエッチング資産であり、IC製造および高度な研究開発に最適です。その高度な設計と機能により、ユーザーは最高精度のエッチング結果を達成し、スループットを最大化できます。