中古 TEGAL 901 #9071953 を販売中

TEGAL 901は真空蒸着コーター/エッチャー/アッシャーです。薄膜蒸着コーティングに使用される自動高温高精度装置です。TEGAL Corporationが製造した901は、特許取得済みのソース技術を使用して、広域均一なコーティングを実現しています。金属、絶縁体、薄膜など様々な材料の成膜が可能です。TEGAL 901は、薄膜製造のための最新のツールであり、高精度と高均一性の利点を提供します。ユニークに設計されたチャンバーには回転プラットフォームが装備されており、広範囲にわたって薄膜を均一かつ均一に堆積させることができます。この自律型デバイスは、幅広い用途で高性能な薄膜を堆積させるために使用できます。この装置は、真空チャンバー、ステンレスのるつぼ、熱伝導面を持つボディなどの高度なコンポーネントとモジュールで構成されています。その他のコンポーネントには、自動制御システム、蒸着モニター、精密な真空ゲージがあります。901はまた、超軽量で比較的小さいフットプリントを備えており、他のラボ機器や一人でのオフサイト操作と並行して位置決めが可能です。TEGAL 901には強力な真空N2拡散ポンプが装備されており、最大10-6 Torrの低い背景圧力を提供します。高度で統合されたプロセス制御システムにより、一貫した正確なプロセス性能が保証されます。この精密なシステムには、ロボットアーム、トリガー、モニターポイント、高度な可視化ツールが含まれています。さらに、内蔵の蒸着制御プログラムは、などの薄膜の蒸着のために事前に構成されています。アルミニウム、チタン、ケイ素および他の材料のタイプ。901は統合された設計を特色にし、複数の基板の精密で信頼できるコーティングを可能にします。その薄膜成膜機能は、高均一性と再現性を提供し、精密加工や研究目的に最適です。TEGAL 901は、適切な処理時間を確保するために、様々な蒸着速度を提供します。温度、サイクル時間および真空レベル。さらに、人間工学に基づいて設計された機能により、安全で効率的な取り扱いと操作が可能です。全体として、901は効率的で使いやすく、非常に構成可能な蒸発コーターであり、優れた均一な薄膜蒸着結果を提供します。TEGAL 901は、幅広い成膜材料、統合されたプロセス制御、人間工学に基づいた設計により、信頼性が高く成功した薄膜製造または研究プロジェクトのすべての要件を満たしています。