中古 TEGAL 901 #293752942 を販売中

TEGAL 901は、ハイエンド半導体デバイス製造向けに設計された、正確で効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。これは、高度な機能と機能の数を誇り、利用可能な最も強力なエッチャー/アッシャーの一つになります。酸化物層によるエッチング、フォトレジストのアッシング、酸化物蒸着などの用途に適しています。901は高精度の150mm x 150mmプロセスエリアを最大歩留まりに使用し、3。5ミクロンから10ミクロンまでの選択可能な空間分解能を備えています。それはまた200°Cから950°Cにプロセス窓を微調整できる精密温度調整システムを提供します。これにより、製造プロセス全体で最適なエッチングまたはアッシング条件が維持されます。また、TEGAL 901は高度なオートメーションと制御を備えており、最大4台のカセットローダーと最大12台の回転カセットを同時に操作できます。これにより、最大12個のウェーハを同時に処理できます。さらに、使いやすいユーザーインターフェイスにより、ユーザーはプロセスを完全に制御できます。これには、プロセスパラメータを正確に監視および調整し、アラームを設定し、ツールの性能ドリフトを検出する機能が含まれます。901はまた非常に効率的で、エネルギー消費が最大85％削減され、標準的な業界システムよりも1時間あたり最大50％多くのウェーハを生産しています。これは、エネルギー消費と製造コストの両方を削減するのに役立ちます。さらに、洗練された環境緩和システムにより、危険なガスや微粒子の残留物が安全なレベルに保たれ、安全かつ効率的な運用が保証されます。TEGAL 901は、ハイエンド半導体デバイス製造向けに設計された、効率的で強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。高度な機能と機能を備えた901は、最適な歩留まりのための高性能と精度を提供します。