中古 TEGAL 900e #9121969 を販売中
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TEGAL 900eは、さまざまな材料の精密で正確なエッチングまたはアッシングを可能にするように設計された革新的なエッチャー/アッシャー装置です。高度な柔軟な技術により、TEGAL 900 Eは、シンプルな単層から複雑なハードマスクや金属構造まで、アプリケーションに最適な精度と柔軟性を提供します。900eには革新的なUltra Plasma Generator （UPG）が搭載されており、フォトレジスト露光用の高度なRFソースを備えており、10-13.56MHz範囲で最大22kWの高効率電力を提供し、制御プラズマ生成用の制御エレクトロニクスに適合しています。これにより、伝統的なエッチングとアッシング/沈着の両方が可能になります。このシステムには、均一なエンジニアリング、アルゴリズムベースの最適化、フォルト検出技術などの革新的な自動化プロセスが含まれ、最適なエッチングとアッシングの結果を保証します。さまざまな材料加工ニーズに対応するために、さまざまなガス混合および圧力レベルを指定することができます。900 E単位に部品の速く、容易なローディングおよび荷を下すための統合された負荷/ロックのメカニズムがあります。また、モジュラー構成可能なシャッターマシンと自己完結型の機械式カーテンを備えており、操作中にチャンバーを開放的な雰囲気から分離するために使用することができます。このシャッターツールは、安全性を確保し、資産を完全に自動化することができます。モデルは容易な装置の監視および制御のための7"の表示画面を含んでいるコントロールパネルが装備されています。さらに、TEGAL 900eは、サイトレベルのコントローラ統合、プログラムパラメータへの外部アクセス、リアルタイムデータロギング機能を提供します。TEGAL 900 Eは、複雑なデバイス構造を生成するための強力なツールであり、さまざまなアプリケーションに必要な精度、再現性、およびスループットを提供します。半導体、医療、その他の産業で高品質の部品を生産するための費用対効果の高いソリューションです。
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