中古 TEGAL 900e #84748 を販売中

TEGAL 900eは、TEGAL Corporationが設計した高精度、オールインワンエッチャー、アッシャーです。エッチングとアッシングの両方のプロセスに直接アクセスできるため、産業用途に最適です。TEGAL 900 Eは、最大500ワットの電力でエッチングおよびアッシングが可能なスタンドアロン真空システムです。エッチングトレイは、直径400mm、厚さ25mmまでの基板に対応できます。エッチング処理は、LCDディスプレイを介して設定できる完全なPID温度制御とタイマー設定で正確に制御され、正確なプロファイリングが可能です。温度制御をさらに向上させるために、オプションのチルプレートが用意されています。900eには、ボタンを押して読み込んで実行できる6つの標準エッチングレシピもあります。これらのレシピは900 Eプロセスに最適化されており、設定が正確で繰り返し可能であることを保証します。エッチングトレイには、追加制御またはクリーニングやその他のプロセスを自動化するためのリニアモーションステージを装備することもできます。TEGAL 900eはアッシャーとしても機能します。アッシャートレイは、容量を増やすことができるオプションのアダプターとトレイで、直径500mmの最大容量を持っています。統合されたガスカウンターブレスデバイスにより、正確なガス交換制御が可能になり、排出量の正確性を確保するために温度が監視および制御されます。TEGAL 900 Eはあらゆる適用の要求を容易に満たすことができる信頼でき、強力なエッチャーおよびasherです。直感的なコントロールとスマートな機能により、産業用に最適です。