中古 TEGAL 900e #3206 を販売中

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ID: 3206
Cassette to Cassette Photoresist Strip/Backside Etching, 4" Spatula wafer transport from cassette to cassette Users are guided through programming and operation by menu-driven software and soft-keys via a built in display and an external terminal.
TEGAL 900e Asher/Etcherは、アルミニウムおよびその合金、高温金属、ステンレス鋼を含む表面金属のエッチング/アッシング用のユニークなスタンドアロンツールです。TEGAL 900 Eは、ケミカルフリーエッチング技術を提供し、ユーザーが希望するパターンや構造を多様な基板に素早く、簡単に、正確にエッチングすることができます。900eは、高度なダイオードレーザー、精密パターニング用のXYテーブル、統合されたイメージングシステム、ケミカルアッシングOを備えています。また、6軸ロボットアームを使用して、正確かつ容易に基板を配置および処理できます。ケミカルフリーのエッチングプロセスにより、より簡単に、より速く、より正確なパターニングが可能です。さらに、混乱のないエッチング工程は、過去の乱雑な化学エッチング工程と比較して、化学廃棄物を排除します。さらに、900 Eには、簡単で効率的なパターニングを可能にするさまざまなソフトウェアおよびハードウェア機能が装備されています。ソフトウェアパッケージには、パターニングを簡素化するためのデザインエディタと画像解析プログラムが含まれていますが、ハードウェアによって基板やツールの動きを簡単かつ正確に制御できます。TEGAL 900eは、小型部品の試作、エッチング、生産ラインや学術用途の微細解像度生産に最適です。精密なパターンを必要とするあらゆるジョブに使用でき、空間分解能は10 µmまでです。さらに、TEGAL 900 Eは厚さ4mmまでの材料に対応でき、アルミニウムやその合金、高温金属、ステンレス鋼など幅広い材料に対応しています。高精度のダイオードレーザー、統合イメージングシステム、ケミカルフリープロセス、精密パターニング用のXYテーブルを組み合わせた900eは、表面金属のエッチングとアッシングのための堅牢で効率的なツールです。それは速く、静かで、安全なエッチング、並びに容易な組み立ておよびパターン化の大きい正確さを提供します。また、従来のエッチングプロセスのコストと混乱を排除し、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。
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