中古 TEGAL 900e #293811528 を販売中

TEGAL 900eは、TEGAL Corp。によって開発された、アッシャーと呼ばれるエッチャーです。この装置は、さまざまな半導体および電子材料の高スループット、費用対効果の高いエッチング用に設計されています。このシステムは、最新の回路設計の要件を満たす高いエッチング速度、ラインとボイド幅の制御、および表面仕上げを提供することができます。TEGAL 900 Eは、エッチングプロセスのあらゆる側面に対応できる完全自動化ユニットです。これには、リアルタイム温度、流量、圧力および集中制御システムが含まれており、機械が高精度で一貫した効率的であることを可能にします。このツールは、10,000nmまでの深さのエッチングを生成できる高速プラズマベースの低圧技術を備えています。この技術はまた、エッジビーズ除去の必要性を排除するだけでなく、優れたエッチングの均一性、ラインのエッジの粗さ、チャネルの底部の損傷制御を提供します。900eはまた、エッチングプロセスをさらに強化するためにガスのユニークな組み合わせを利用したマルチポートガス注入資産を備えています。エッチング工程に最適なガスタイプを選択できるため、優れたエッチング結果が得られます。装置は使いやすく、維持するように設計されています。セットアップとプロセス制御を簡素化する直感的な設計により、複雑なユーザーマニュアルや手順が不要になります。このシステムには、問題を迅速に特定して修正するために使用できる高度な診断ツールも付属しています。最後に、このユニットには、ユーザーがさまざまなエッチングアプリケーションのプロセスレシピを作成および変更できる一連のソフトウェアも付属しています。全体として、900 Eは高度なエッチャーまたはアッシャーであり、効率的で正確で費用対効果の高いエッチングソリューションをユーザーに提供します。これは、比較的使いやすく維持しながら、優れたエッチング結果を提供することができる高度な技術のユニークな組み合わせを備えています。