中古 TEGAL 900ACS #293635732 を販売中

TEGAL 900ACSは、各種半導体および非半導体材料において優れたエッチング/アッシュ性能を提供する基板加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、TEGAL独自のRF/DC電源供給技術を使用しており、高いスループットと正確なプロセス結果を実現します。900ACSには、ユーザーがエッチング/アッシング処理をカスタマイズし、歩留まりを改善できるいくつかのオプションがあります。エッチャー/アッシャーは、プリクリーン、エッチング/アッシュ、ポストクリーンの3段階のプロセスを利用します。事前クリーンステップでは、ユーザーは機械式ポンプを使用してチャンバーをポンプアウトし、チャンバーをクリーンガス、通常は窒素のような不活性ガスで埋めることを選択して、チャンバーへの粒子の侵入を減らすことができます。このステップには、オプションでRFプラズマ洗浄などの他の洗浄技術を含めることができます。2番目のステップは、エッチング/アッシュのシナリオです。ユーザーは、処理される材料に応じて、RFまたはDC電源を使用してプロセスをカスタマイズすることができます。ユーザーはまた、所望のエッチング/灰の深さを達成するために、パワーレベル、圧力、およびガスの流れを調整することができます。エッチング/灰プロセスが発生すると、排気ガスはTEGAL 900ACSチャンバーから排出され、ウェハの汚染を防ぎます。3番目と最後のステップは、ポストクリーンプロセスです。このステップのために、チャンバーは機械的にポンプで送り出されるか、またはチャンバーへの粒子を減らすためにきれいなガスで満たされます。残りのエッチング/灰の残留物は、湿式またはドライクリーニングで除去されます。900ACSは、さまざまな材料で優れたエッチング/灰の性能を提供し、幅広い用途に適しています。その高度なRF/DC電源供給技術とカスタマイズ可能な設定により、正確で再現性のあるプロセスが保証され、プリクリーンでエッチング/灰とポストクリーンサイクルにより、効果的な残留物の除去が可能です。