中古 TEGAL 803 #9260044 を販売中

TEGAL 803エッチャーは、大量の産業用途向けに設計されたマルチプロセスエッチング装置です。その高効率と低コストは、さまざまなタスクのための魅力的なオプションになります。803は、真空チャンバー容量8。4リットル、最大0。1torrの動作圧力を備えた完全自動化されたシングルチャンバープロセスエッチャーです。これは、RFバイアス電源だけでなく、異なるエッチング処理のためのマイクロ波電源が装備されています。また、2つの石英エッチングプレート、プラズマ発生装置、および抵抗材料の供給源を備えています。このシステムには、基板導入前にRFジェネレータとバイアス電源をエッチングプレートに正確に貼り付けるための特別な高精度のコンピュータ化ダイアタッチユニットも含まれています。コンピュータ化されたダイアタッチマシンは、精密で反復可能なエッチングプロセス条件を容易にし、チャンバーに配置されたすべてのウェーハに均一性を提供します。TEGAL 803の精密で再現性のあるプロセス制御により、高品質の小線模様基板の製造に最適です。最小エッチングピッチは20 200µmで、厚さは最大µmの基板をエッチングできます。部屋の温度は400°Cの最高に置くことができます。このツールはまた、高速コンピュータ化されたシングルウェーハローダーを備えており、アセットに毎分最大4つのウェーハをロードすることができます。このモデルのプロセッサには、エッチングプロセスの再現性を最大化するためのウェーハ認識アルゴリズムと、ウェーハへの一貫したプロセスウェーハが含まれています。803のオンボード診断スイートは、機器の状態を監視し、アラーム管理機能を提示することで、運用効率をさらに向上させます。システムパラメータ、プロセス条件、およびその他の単位値を読み取ることで、問題を診断し、ユーザーに是正措置を導くことができます。さらに、TEGAL 803には、エッチングの均一性と精度を最大限に高めるために、ウェーハ表面を準備するために設計されたアクティブな事前蒸着機が含まれています。その他の機能には、資産パフォーマンスを最適化し、ダウンタイムを短縮する自動クリーニングツールがあります。803は、産業用、小規模、研究用途において信頼性と一貫した高品質のエッチングを提供するように設計されています。その高度な機能と効率的な操作により、耐久性と高性能エッチングに最適です。