中古 TEGAL 803 #201078 を販売中

TEGAL 803は、さまざまな特殊プロセス用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この特殊エッチングプラットフォームは、複雑な構造のウェットエッチング、酸化物エッチング、高アスペクト比フォトニックおよびプラズモン微細構造、ドライエッチングなど、さまざまなプロセスに最適です。この技術的に高度な装置は、カスタムエッチングおよびアッシャーシステムのリーディングサプライヤーであるTEGAL Corporationを通じて世界中で入手可能です。803は直径8インチまでの基板を処理することを可能にする縦の部屋の設計を特色にします。このシステムには独自のEtch Wizard IIコントロールユニットが装備されており、エッチングとエミッションのプロセスを簡単かつ直感的に制御できます。また、Etch Wizard IIを使用すると、ユーザーはリモートでマシンとやり取りすることができ、操作とメンテナンスがはるかに簡単で便利になります。TEGAL 803には、タッチウィザードとデジタルエッチセレクタ（DES）という2つの制御システムも追加されています。DES制御ツールを使用すると、圧力、時間、電力などのエッチングプロセスパラメータを正確に制御できます。803はまたエッチングおよび放出プロセスを最大にするように設計されている特徴の広い範囲を提供します。アセットは、必要なプロセスパラメータに応じて、ホット基板とコールド基板の両方の処理をサポートすることができます。また、酸化物と金属材料の両方のためのウェットエッチング式を含む、エッチングガスやエッチング化学物質の広い範囲をサポートすることができます。排出プロセスも調整可能で、ユーザーは排出プロファイルをカスタマイズしてプロセスを最適化することができます。TEGAL 803は高度な安全機能も備えています。特に、このモデルにはTEGAL Shield Leak Detection Equipmentが搭載されており、エッチング中に危険なガスを迅速かつ正確に検出するように設計されています。さらに、このシステムには、潜在的なガス漏れをさらに防ぐように設計されたさまざまなインテルティングシステムも装備されています。803は、さまざまな複雑な構造を素早く正確にエッチングできる高度なエッチングプラットフォームです。この高度なエッチングプラットフォームは、さまざまな直感的で正確な制御システムと、安全機能の強化によってサポートされています。独自のデザイン、先進的な機能、信頼性の高い性能を備えたTEGAL 803は、特殊なエッチングプロセスに最適です。