中古 TEGAL 701-03 #9097594 を販売中

TEGAL 701-03は、エッチング/アセシリコンウェーハおよび薄膜に設計された高度な水系エッチャー/アッシャーです。これは、マイクロエレクトロニクス業界のさまざまなアプリケーションで使用できる信頼性と費用対効果の高いソリューションです。独自のコールドチャンバー設計で構築された701-03は、最大0。25um/秒のウェットエッチング速度と最大10um/秒のアッシング速度を使用できます。調整可能なスピードコントローラにより、エッチング/アッシングの速度を手動で調整して最適な結果を得ることができます。また、インテリジェントプロセス制御などの高度な技術も備えています。この技術は、温度、圧力、流量などのエッチング/アッシングプロセスパラメータを正確に監視し、製品の一貫した品質を確保します。また、ユーザーやウェーハへの事故や損傷を防止するための自動安全機能を搭載しています。TEGAL 701-03はコンパクトで高効率です。これは、酸煙や腐食性ガスがチャンバーから逃げるのを防ぐ効果的な蒸気封じ込めシステムで設計されています。また、スケール、レシーバ、排気システムなどの他のシステムと容易に統合できるように構成されています。701-03は環境に優しく、防蝕材料から成っています。アッシャーは、フッ化水素や硝酸などの様々な化学物質と組み合わせて使用することもできます。エッチャー/アッシャーは、すべてのタイプのタンクやスプレーガンとも互換性があり、簡単にカスタマイズすることができます。最終的に、精度と精度が必須の場合、TEGAL 701-03はエッチャー/アッシャーに最適です。コンパクト設計、信頼性の高い技術、高度な機能により、コストの削減、運用効率の向上、優れたパフォーマンスを提供します。