中古 TEGAL 6540 #9267990 を販売中

TEGAL 6540は、エッチングとアッシングのプロセスで速度と精度の両方を兼ね備えた最先端のエッチャー/アッシャーです。マルチステーション設計により、6540は、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ニトロモリブデン（NMO）、タングステンなど、さまざまな材料のエッチングおよびアッシング要件を満たすようにカスタマイズできます。最上位モデルとして、TEGAL 6540は他のモデルよりも高いエッチング率を提供し、エッチングとアッシングのプロセスを迅速かつ効率的に行うことができます。6540はまた、ユニークな4ゾーンのチャンバーレイアウトを備えており、エッチングとアッシングに素早くアクセスできます。4ゾーンのチャンバーには、2つのプラズマゾーンと2つの反応ガスゾーンがあります。さらに、TEGAL 6540は、エッチングとアッシングの両方を同時に処理するように調整することができます。6540は、さまざまな表面に高いエッチングとアッシング速度を提供する独自の多軸構成を備えた完全自動化されたマシンです。TEGAL 6540のチャンバーは4つのゾーンに分かれており、各ゾーンで異なるエッチングとアッシング効果を生み出すことができます。自動化された光学アライメント装置を使用すると、6540はエッチングまたはアッシングプロセスの不完全さを自動的に調整し、高精度な結果を提供します。さらに、TEGAL 6540は、さまざまな洗浄剤を使用して、チャンバーや光学系から破片などの汚染物質を除去する自動洗浄システムを備えています。クリーニングユニットはまた、チャンバーをクリーニングするのにかかる時間を短縮するのに役立つ回転アームマシンを備えています。全体的に6540はエッチャー/アッシャーであり、さまざまな材料をエッチングおよびアッシングするための信頼性が高く、効率的で正確なツールを提供します。最先端のデザインのTEGAL 6540は、幅広いエッチングおよびアッシング用途に最適です。