中古 TEGAL 6500 #9238618 を販売中

TEGAL 6500は、幅広い素材のエッチングやアッシングに使用される微細加工ツールです。この装置は非常に汎用性が高く、ドーピング、蒸着、材料除去、エッチングなど幅広い用途があります。その標準的な加熱システムは、金属、シリコン、酸化物、ポリマー、セラミックスなどの幅広い材料を処理することができます。6500は、油圧八角形の結晶チャンバー（直径28。5 cm）と6つの磁気的に吊り下げられた平面外の均等分散抽出チャネルで構成される13ゾーンの原子炉を備えています。この電気磁気設計により、エッチングおよびアッシングパラメータを選択および定義する際に、ユニットに大きな柔軟性を与えます。13ゾーンの原子炉では、TEGAL 6500は使用可能なプロセス領域の合計18ゾーンに到達することができます。6500の標準的な上昇の高さは現在の企業の標準を超過する20mmです。機械はまた補助オプションの広い範囲を特色にします。これらは、リアクティブイオンエッチングなどの特定のアプリケーション用に構成することができ、特定のエッチング機構を改善したり、プロセスのスループットを最適化するために使用することができます。これらには、イオン源、リモートプラズマ源、プラズマホットスポット識別および補償ツール、および高度な蒸着機能が含まれます。イオンソースは、シリコンやゲルマニウム合金のような材料の高い忠実度と垂直エッチングを達成するために使用することができます。リモートプラズマソースを使用して、高アスペクト比の構造を均質にエッチングできます。Plasma Hot-Spot Identification and Compensation Assetとは、表面の特徴を損傷する可能性のあるホットスポットを検出および抑制するために使用されるモデルを指します。高度な沈着機能は、導電性または絶縁性の金属層を作成するために使用することができます。TEGAL 6500は、リモートアクセスと専用コントロールパネルを介してすべての機能のリアルタイム監視を提供する高度な管理機器で設計されています。これにより、システムの安全性とプロセス制御の強化、および便利なメンテナンスが可能になります。関連するすべてのユニットパラメータは統合ライブラリから入力でき、簡単に再利用できるようにレシピを保存およびリコールする機能が追加されています。6500は非常に便利で汎用性の高いツールであり、研究開発、プロトタイピング、生産のための幅広いオプションを提供します。その高度なプロセス管理と幅広いオプションにより、ラボと製造の両方の設定のさまざまなプロセスに適しています。その多様なオプションと手頃な価格で、さまざまなプロセスやアプリケーションに最適です。