中古 TEGAL 6500 / 6540 #165814 を販売中
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販売された
ID: 165814
ヴィンテージ: 2006
Dry etch system, 6"
Software
Main Software: Tegal Software Version 5.54
Operating System: DOS
Host Interface: Tegal 65** Gem/Secs Ii Version 1.9e
Human Interface
Main Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Front)
Remote Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Rear)
Additional Interface: Windows Compliant Keyboard
Signal Tower: Yes (Red, Amber And Green)
Process Module: PM1 / PM2 / PM3
Manufacturer: TEGAL / TEGAL / TEGAL
Function: PLASMA/RIE ETCH / PLASMA/RIE ETCH / PLASMA STRIPPER
Environment: VERY-LOW PRESSURE / VERY-LOW PRESSURE / LOW PRESSURE
Chamber: CAPACITIVE COUPLED / CAPACITIVE COUPLED / INDUCTIVE COUPLED
Chuck: ESC CHUCK / ESC CHUCK / CENTERING RING
Rough Pump: ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602
Turbo Pump: VARIAN TV-1001 / VARIAN TV-1001 / NONE
Turbo Pump Controller: VARIAN TURBO-V 1000 ICE / VARIAN TURBO-V 1000 ICE / NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1)
Baratron: MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MKS CAPACITANCE MANOMETER (1TORR)
Ion Gauge: EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / NONE
Pressure Control: VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1)
Endpoint: DIODE ARRAY / DIODE ARRAY / DUAL DIODE
RF GENERATOR (Mhz) MKS OEM-12B / MKS OEM-12B / MKS OEM-12B
RF GENERATOR (Khz) ENI LPG-6ATM 1 / ENI LPG-6ATM 1 / NONE
Mfc 1 CF4 (50sccm) CF4 (50sccm) O2 (2000sccm)
Mfc 2 Cl2 (50sccm) Cl2 (50sccm) O2 (200sccm)
Mfc 3 NOT USED / HBr (50sccm) NOT USED / HBr (50sccm) N2 (200sccm)
Mfc 4 CHF3 (100sccm) / CHF3 (100sccm) / NONE
Mfc 5 Ar (50sccm) Ar (50sccm) NONE
Mfc 6 O2 (50sccm) O2 (50sccm) NONE
Wafer Backside: Flow He (5Torr UPC) He (5Torr UPC) NONE
Purge Gas: N2 / N2 / NONE
Vent Gas: N2 / N2
Temp. Control: HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / CHUCK COIL HEATER (250 DEG CELSIUS)
Temp. Control Unit: NESLAB DUAL CHANNEL TCU / NESLAB DUAL CHANNEL TCU / THE SIXTH SENSE AI-100 TEMP. CONTROLLER
Rinser Module: PM4
Manufacturer: SEMITOOL
Function: SINGLE WAFER RINSER/DRIER
Environment: ATMOSPHERIC
Chamber: PTFE BOWL W/ PVDF LINED HEAD COVER
Chuck: PTFE FINGER CANTILEVER ON HEAD ROTOR
Rotor: STEPPER MOTOR W/ LC-1 MOTOR DRIVER
Rinser Head: LIFT AND ROTATE ASSEMBLY
Purge Gas: N2
Diw Temp: 80 DEGREES CELSIUS
Temp. Control: IN-LINE HEATER (PVDF HOUSING WITH PFA-JACKETED HEATING ELEMENT)
Temp. Control Unit: TEGAL DIW HEATER CONTROLLER
Pre-Aligner Module: PM5
Manufacturer: BROOKS AUTOMATION
Function: WAFER FLAT AND CENTER ALIGNER
Environment: VERY LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO CORE
Chuck: FORK WITH RUBBER PADS
Transfer Module: TM1 TM2
Manufacturer: ASYST ADE
Function: THETA AND RADIUS ROBOT ARM Z-AXIS, THETA AND RADIUS ROBOT ARM
Environment: VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Controller: ASYST UTC-100A CONTROL SYSTEM ADE SERIES 350 ARM CONTROLLER
Chamber: MOUNTED INSIDE THE CORE CHAMBER MOUNTED ON THE ATMOSPHERIC PLATFORM
Modules Serviced: CM1, PM5, PM1, PM2 AND PM3 PM3, PM4 AND CM2
Casette Module: CM1 CM2
Manufacturer: TEGAL TEGAL
Function: SENDER RECIEVER
Environment: ATMOSPHERIC / VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO THE CORE PLATFORM-TYPE
Elevator: YES / NO
Wafer Sensing: RETRO-REFLECTIVE SENSOR (INDIVIDUAL WAFER SENSING) RETRO-REFLECTIVE SENSOR (BLOCK SENSING AFTER CASETTE IS LOADED)
Vent Gas: N2 NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X1 NONE
Miscellaneous: CORE
Manufacturer: TEGAL
Function: HEXAGON-SHAPED CORE CHAMBER
Environment: VERY-LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING WITH CLEAR ACRYLIC TOP COVER
Rough Pump: ALCATEL ADP122
Turbo Pump: VARIAN TV-301
Turbo Pump Controller: VARIAN TUBO-V 301 VAVIGATOR CONTROL UNIT
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (CORE X1 AND FORELINE X1)
Facility Requirements
Ac Power: YES WITH POWER TRANSFORMER (380Vac Secondary, 3φ, 75KVA)
Cda: YES
Diw: YES
Cooling Water: YES
Industrial City Water : YES
Warehoused
2006 vintage.
TEGAL 6500/6540は、高度な半導体デバイスを処理するために設計された高度なエッチングおよびアッシャーシステムです。ハイテクエッチングおよびアッシング装置は、最新の技術進歩を利用し、最も信頼性の高い最高品質の結果を提供します。6500/6540エッチャー/アッシャーは、半導体業界のさまざまなアプリケーションに最適な多数の機能を備えた印象的なマシンです。システムは2つの異なったプロセスの高度LPCVDの技術に基づいています；アッシングとエッチング。これにより、ユーザーは両方のプロセスを同時に処理することができます。このユニットはまた、粒子の汚染を低減し、歩留まりを向上させる独自の低圧アッシングモジュールを備えています。TEGAL 6500/6540は、温度制御環境と高度な反応チャンバーを備えており、信頼性が高く、一貫した処理を提供します。LPCVD技術は、高品質の部品を生産するために、加圧チャンバーを介して最適な環境を提供します。統合ビジョンマシンは、加工結果と反応を監視し、部品が高品質のレベルを維持することを保証します。このツールは、手動および自動処理の両方のために設計されており、さまざまなプロセスやアプリケーションに非常に汎用性があります。自動化された処理のために、6500/6540はアッシング中の圧力と温度を制御し、エッチングを制御します。この資産はまた、精密監視と診断、および統合された分析機能を提供し、プロセスのパフォーマンスを保証します。TEGAL 6500/6540にまた高度の物質的な処理機能があります。組み込みロボットは協力して、プロセス最適化のための最も効率的な順序で部品を提供します。また、製品を迅速かつ効率的に提供するユニークなコンベア装置を搭載しています。6500/6540は、金属、セラミックス、半導体、プラスチックなど、多くの材料を通してアッシングとエッチングが可能です。このシステムは、ISO-CVD、 OXCVD、 MWBEなど、さまざまな化学プロセスをサポートするように設計されています。さらに、安全インターロック、緊急停止、防爆機能などの安全機能も搭載しています。TEGAL 6500/6540は、さまざまなアプリケーションで一貫性と高品質の結果を提供します。高度なアッシングとエッチング機能により、信頼性の高い処理と一貫して高品質の結果を提供します。このツールはまた、さまざまな高度な機能と統合機能を備えており、さまざまな生産能力に理想的なエッチャー/アッシャーです。
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