中古 TEGAL 6000 #293616018 を販売中

TEGAL 6000は、信頼性の高いフォトリソグラフィープロセスを使用した集積回路（IC）マスクの製造用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。完全に自動化されたユーザーフレンドリーで費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されており、お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。この装置は、高い再現性、正確なアライメント、および長期的な安定性を保証する、広い視野面積と非常に硬い構造を備えています。また、ドライシステムとウェットシステムの両方に対応する最新のレーザーアライメントおよびマスク生成システムも備えています。6000は、最大30インチまでの小型および大型基板の両方に対応できます。最大深度5ミクロンで、10ミクロンの精細な解像度が得られます。このデバイスは、高速精度のXYテーブルを採用しており、ステップ操作とリピート操作を可能にします。この機能により、大量の作業が必要な環境に最適です。さらに、TEGAL 6000は優れた感度と、ウェーハ上の乾燥層と濡れ層の両方をエッチングするための幅広い調整性を提供します。安全機能の面では、6000はモニターされた雰囲気を持ち、オペレータはエッチング処理中に発生する危険な副産物を監視することができます。CCE （Closed Chamber Environment）は、作業エリアが常に清潔で含まれていることを保証し、汚染のリスクを低減します。操作面では、TEGAL 6000は簡単で簡単です。ユーザーインターフェイスは、シンプルなグラフィカルメニューシステムと内蔵の診断とトラブルシューティングメニューを提供します。大きい、明るい、バックライトを当てられたLCDスクリーンは必要とするすべての情報をユーザーに与えます。さまざまなコントロールトップ、ダイヤル、スイッチも簡単に操作できます。6000は非常に便利で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、大量生産のニーズにも非常に費用対効果の高いソリューションです。10ミクロン、最大5ミクロンの解像度で、大小の基板にも対応可能で、エッチング効果に優れています。TEGAL 6000は、オンボード診断、自動マスク生成システム、高性能を備えており、IC生産ニーズに適しています。