中古 TEGAL 515 #293655082 を販売中
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TEGAL 515は、エレクトロニクス製造業界のさまざまなプロセスに使用されるエッチャー/アッシャーです。Si、 SiO2、 SiN、 WSi2、金属合金、その他の導電性および非導電性材料など、さまざまな材料の成膜およびエッチング機能を提供します。515は特に大量生産プロセスを処理するように設計されています。これは、効率的な処理を容易にする機能の配列が装備されています。これらの機能には、高速蒸着とエッチング速度が含まれ、最適化されたスループットを実現します。圧力、温度およびガスの流れのようなプロセスパラメータを、精密に制御して下さい；そしてすべての変数の実時間監視の高度制御装置。エッチャー/アッシャーはまた、さまざまなエッチングガスを使用する能力と、より複雑なプロセスに2つ以上のミックスを備えたプロセスの柔軟性を提供します。また、エッチングツールに関連してウェーハの位置を正確に制御できる特許出願中のベクターユニットと、蒸着時に最適な圧力を維持するための高精度ベローズポンプを備えた精密自動ウェーハハンドリングシステムを備えています。TEGAL 515には、ユーザーフレンドリーな体験を実現するさまざまな機能が搭載されています。これらには、直感的なオペレータのGUI画面、使いやすいプロセスレシピ、トラブルシューティングのための内蔵診断、最適なプロセス設定のための複数のレシピが含まれます。さらに、ユーザーが特定のニーズに合わせてカスタマイズできるように、異なるレシピとプロセスパラメータを設定できます。要するに、515は様々な材料の信頼性と精密な沈着とエッチングのために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。それは速い沈殿およびエッチング率を提供します；プロセスパラメータの正確な制御；堅牢な制御ツール。エッチングガスの柔軟な使用。精密なウェーハの処理；トラブルのない操作のためのそしてユーザーフレンドリーな特徴。
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