中古 TEGAL 415 #9187146 を販売中

TEGAL 415はTEGAL株式会社が開発した自動アッシャーです。ウェハダイクリーニング、エッチング、薄膜蒸着プロセスを提供するフルサイズのスタンドアロン機器です。415は、半導体製造、MEMS、オプトエレクトロニクスデバイスなど、幅広い用途に適していることが証明された、信頼性が高く効率的で費用対効果の高いシステムです。TEGAL 415は、直径200mmまでの基板に対応できる自動ロボットワークセルで構成されています。ユニットにはローディングステーションが装備されており、基板は最初に機械にロードされ、次にエッチングおよび薄膜蒸着プラットフォームに自動的に配置されます。このツールには、プロセス全体を正確に制御し、各基板が一貫して処理されるようにする統合コントローラも装備されています。415には2つの独立したエッチングチャンバーがあります。第1チャンバはダイクリーニングとイメージエッチングに最適化され、第2チャンバは腐食、酸化物除去、スルーウェーハエッチングに最適化されています。エッチングチャンバーは温度と圧力を制御し、プロセスに不可欠な均一性、再現性、精度を実現します。TEGAL 415には、薄膜成膜プラットフォームも含まれています。このプラットフォームは、表面粗さの低い信頼性の高い層を生成することができます。これは、基板をコーティングするための2つの独立した電子ビームソースと同様に、回転式および線形運動ステージを装備しています。このアセットは、複数の基板を同時に処理することも可能で、生産スケール試験に最適です。全体として、415は信頼性が高く、費用対効果の高いアッシャー/エッチャーです。半導体製造、MEMS、オプトエレクトロニクスデバイスなど幅広い用途に対応可能です。その高度なコントローラは、各基板の処理に精度と再現性を保証します。そして、その2つの独立したエッチングチャンバーと薄膜蒸着プラットフォームは、信頼性と一貫した結果を生み出すことができます。あらゆる半導体製造プロセスに最適なソリューションです。