中古 TEGAL 415 #9143547 を販売中

TEGAL 415はエッチャー/アッシャーです。半導体業界の用途向けに特別に設計されており、高精度のビーム配信システムを通じて高性能を提供します。415は、直径8インチまでの様々なウェーハサイズと角度付きウェーハを扱うことができる完全自動化された装置です。安全な環境を確保しながら、スループットと精度を最大化するために構築されています。システムは、ビーム配信のための高度な光学システムを備えています。これには、ウェーハ表面全体に高精度のビームプロファイルを提供し、均一なエッチングを保証する等方性ビーム均質化ユニットが含まれています。ビームスポットサイズと発散は± 1％の精度で維持され、最適なエッチング性能を保証します。また、エッチングプロセスを効果的に制御するための完全に自動化されたエンドポイント検出ツールも備えています。エッチングされたウェーハ表面の光強度プロファイルを測定し、エッチングを正確に測定します。アセットは手動または自動モードで操作でき、オペレータはエッチングパラメータを素早く簡単に調整できます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェースにより、経験の浅いユーザーでも直感的に機器を操作できます。このシステムは、温度安定性を維持し、熱損傷を排除することができる強力な冷却ユニットを備えています。TEGAL 415には、開閉時にすぐに機械をシャットダウンするカバーインターロック安全スイッチなどの高度な安全対策も組み込まれています。要するに、415は半導体産業のために特別に設計された高精度のエッチャー/アッシャーです。精密なビーム供給が可能で、ウェーハ表面全体に均一なエッチングを実現します。エンドポイント検出ツールはエッチングプロセスを正確に制御することができ、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは簡単な操作を可能にします。TEGAL 415の強力な冷却資産と高度な安全対策により、ユーザーの安全な環境と半導体業界で期待される高精度のエッチング性能を保証します。