中古 TEGAL 415 #9010610 を販売中

TEGAL 415は、半導体回路やデバイスの製造に必要なエッチング/アッシングプロセスの範囲を実行するために使用される最高性能のエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーはいくつかのユニークな属性を備えているため、さまざまな半導体エッチング/アッシングプロセス、特にウェットエッチングとアッシングを含むプロセスに最適です。415エッチャー/アッシャーの顕著な特徴は、金属、ポリシリコン、石英、GaNなど、さまざまな基材で高品質のエッチング/アッシング結果を達成することです。これは、プロセスを制御するためのいくつかの特殊なソフトウェアパッケージを追加することで可能になります。これらのパッケージを使用すると、エッチング/アッシング圧力やタイミングなどのエッチング/アッシングパラメータを調整して、可能な限り最良の結果を得ることができます。さらに、TEGAL 415には高度な温度制御システムが付属しており、すべてのアッシングおよびエッチングプロセスが正確かつ一貫した結果で完了することを保証します。415はまた、最先端の環境チャンバーを備えており、温度を一貫して維持し、エッチング/アッシングプロセスに最適な条件を維持するのに役立ちます。このチャンバーには、チャンバー内の環境条件を監視し、エッチング/アッシングパラメータを継続的に調整して、可能な限り最良の結果を得るための多数の専門センサーが装備されています。さらに、環境チャンバーは耐食性があり、通常の範囲を超えてさまざまな温度で動作するように設計されています。TEGAL 415にはガス供給システムも含まれており、エッチング/アッシング圧力とガス流量が各プロセスに最適な範囲内に保たれます。このガス供給システムにより、エッチング/アッシングプロセスを最大限の効率と一貫性で実行できます。415は非常に高度なエッチャー/アッシャーで、最も要求の厳しいエッチング/アッシングプロセスを精度と精度で完了するように設計されています。半導体デバイスの製造から先進的な研究開発まで、幅広い用途に最適です。