中古 TEGAL 211 #114351 を販売中

TEGAL 211は、高性能プラズマエッチャーとアッシャーです。完全に自動化されたシングルウェーハ装置であり、エッチングプロセスの精度制御と均一性を考慮して設計されており、長い生産サイクルで最高レベルの精度を保証します。システムの主な構成要素は、高出力のシングルステージターボポンプであり、圧力制御ユニットとして機能し、ウェーハ全体で正確で一貫したエッチングを保証します。ポンプとは別のフローティングドームエッチングチャンバーは、均一性を向上させ、低プロファイルの高さとサイドウォール角度で高いエッチング率を生み出します。ウェーハ処理温度も精密に制御され、チャンバーは最大700°Cの温度を達成することができます。211はまたTEGAL 211の反復可能な結果の安定した、高性能の処理を可能にする多機能RF力機械を特色にします。高密度・低加速プラズマをサポートし、高アスペクト比エッチングを実現します。アセットは、最適な均一性、エッチング率、およびエッチング選択性のために調整することができます。211の精度は、オートアライメント、オートフォーカス、正確なプロセス再現性のためのプラズマガス制御、およびサブサーフェスの損傷、エッジ効果、寿命管理のための高度な検出システムなど、包括的な測定ツールと制御システムによってさらに有効になります。このモデルはまた、プロセス制御および管理機能を備えた直感的なプラットフォームベースのグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。これにより、ユーザーはプロセスレシピを保存し、エッチングパラメータを監視し、バッチ処理の効率を活用することができます。TEGAL 211は、ハーフミクロンまたは小型のフォトマスク製造、誘電体および金属エッチング、直列リニアメタルメサエッチング、ナノワイヤエッチング、半導体デバイス製造、金属埋め込み、データストレージ、ドライウェーハ洗浄など、さまざまな用途に最適です。