中古 TEGAL 1511E #9080737 を販売中

TEGAL 1511E Asher/Etcherは、基板上のファインライン集積回路の製造用に設計された多機能、半真空、精密薄膜加工装置です。このシステムは、高真空、プラズマ、反応ガスエッチング技術を組み合わせて、精密な寸法制御と高精度のデバイスを生成します。1511Eは完全に自動化されており、メンブレンベース、石英ベース、スピンコーティングマスキング技術が可能であり、直接マスクされていないシリコンエッチングを可能にします。TEGAL 1511Eの主要な部屋は8 「x8」ステンレス鋼の部屋で、2 「x2」小さい基質のエッチングを可能にします。単位のプロセスパラメータは十分にプログラム可能で、基質およびプロセスによって1ミクロン低いレベルに調節することができます。セミバキュームマシンは背景圧力を低減し、MEMSコンポーネントを含む敏感なデバイスのダイレクトエッチングを可能にします。1511Eは、6x10-6 Torrの真空レベルに到達することができる高効率ターボ分子真空ポンプを備えています。この低圧は、エッチング時間を最小限に抑え、高いプロファイル精度でエッチングできるアスペクト比の構造を実現します。また、RF電源とターボ・ポンプ・バイアス・プラテンを使用して電子増強プラズマ環境を構築し、優れたエッチング選択性と粒子低減を実現しています。TEGAL 1511E、 ICPソース・ガス入力RPX-200のさらなる機能を備えており、最適なエッチング性能のための追加のプロセスガスを追加することができます。このツールは、転送専用モードまたはオプションのプロセスチャンバーで動作するため、PLCおよびプロセス制御ソフトウェアとのインタフェースに完全にプログラム可能なプロセスパラメータを使用できます。1511Eは、高アスペクト比、狭い耐性構造の生産に最適で、合理化されたオペレーティングプラットフォーム、直感的なユーザーインターフェイス、優れたパフォーマンスを備えています。そのメンテナンス手順は最小限のトレーニングを必要とし、そのチャンバーは摩耗部品の容易な交換のために最適化されています。それは適用可能な安全および環境の規則に迎合的で、顧客の必要性の広い範囲を満たすように形成することができます。