中古 TECHNICS Micro RIE Series 800-II #9303728 を販売中

TECHNICS Micro RIEシリーズ800-IIは、マイクロエレクトロニクス業界の精密エッチングとアッシングに最適な最先端のエッチングおよびアッシング機です。Micro RIE Series 800-IIは、直径5〜2/5インチ（125 mm）の露出窓を備え、動き、スキャン、ベースカーブを備えた高度なステージコントロールを備えています。装置の基盤は1°Cまでの優秀な温度調整のために絶縁する高性能の伝導性のグラファイトの絶縁材および汚染を防ぐために水晶によって密封される排気口と組み立てられます。TECHNICS Micro RIEシリーズ800-IIは、高度なボンド相関ソフトウェアパッケージと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、正確なプロセス制御を可能にします。Micro RIEシリーズ800-IIには、焼入れ圧力コントローラ機能が搭載されており、最適なエッチングまたはアッシングのためのプロセス設定を正確に制御および再現できます。このシステムは、精密エッチングとアッシングのために最大3つのガスを同時に制御することもできます。ハイスループット高周波プラズマジェネレータは、高感度で小さな領域のプロセスで優れた制御を実現するため、1Wレベルの低消費電力を備えています。迅速な4段階プロセスにより、高品質のプロセスが保証され、わずか数秒の露出で完全なアッシングが可能になります。TECHNICS Micro RIEシリーズ800-IIは、最高の精度と精度を実現する高品質の材料と部品で構成されています。このユニットは、最大220Vの電圧を持つ単相0。2 kWのモータ制御マシンによって駆動されます。高度なコントローラにはPI制御も搭載しており、アッシング中の露出と圧力をリアルタイムで調整できます。Micro RIEシリーズの800-IIはまた、ユーザーが常に安全であることを保証するために、緊急停止機能を含むさまざまな安全機能を提供しています。高性能で耐食性に優れたプラズマ発生器は、0。1秒という短い処理間隔で正確なエッチングを実現します。TECHNICS Micro RIEシリーズ800-IIは、マイクロエレクトロニクス業界での使用に最適です。5 「by 5-2/5」（125 mm）エッチャー/アッシャーは、正確で迅速なエッチングとアッシングに最適です。このツールは、正確で反復可能なプロセス設定、高度なステージコントロール、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。4段階の高速プロセス、単相0。2kWのモータ制御資産、および高スループット高周波プラズマジェネレータにより、マイクロエレクトロニクスのエッチングとアッシングに800-II、 Micro RIEシリーズが最も適しています。