中古 TECHNICS Micro RIE 800 #9239257 を販売中

TECHNICS Micro RIE 800は、プラズマと化学反応して表面から材料をエッチング、除去するために使用される機器の一種であるエッチャーまたはアッシャーです。半導体ウェーハ、膜、ディスプレイ、カーボンナノチューブなどの非常に小さな機能と材料のプラズマエッチング用に設計されています。Micro RIE 800は、最大800Wのマイクロ波電源からなるプラズマ源を備えています。また、RFプラズマチャンバーへの正確な電力供給のためのマッチング装置も備えています。これにより、サンプル全体に均一なエッチングが保証されます。エッチングチャンバー自体は、圧力制御された半閉じ込めエッチングチャンバーで、寸法は400x277x157mmです。試料表面に正確に照準されたAr/O2プラズマを注入するように設計されています。TECHNICS Micro RIE 800には、制御分解能0。1 SLMの6チャンネルのガス供給システムもあります。これにより、プラズマ化学の正確な制御が可能になります。センサーを内蔵することで安全性を確保し、エッチング室内の安全な動作圧力を確保します。これに加えて、過剰な電力供給の場合にはETCHERを保護するRFパワーモニターがユニットに組み込まれています。Micro RIE 800はモジュラー設計を採用しているため、追加のモジュールを追加して簡単にアップグレードできます。これにより、柔軟性が向上し、ユーザーは特定の要件に合わせてマシンをカスタマイズすることができます。さらに、このツールはエッチング率が高く、サンプルの損傷を最小限に抑え、非常に効率的に設計されています。TECHNICS Micro RIE 800は使いやすく、さまざまなマイクロエッチング用途に適しています。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えており、直感的な操作が可能です。また、ユーザーがリモートでエッチング処理を監視できる一連のリモート操作ソフトウェアも含まれています。これにより、ユーザーはエッチング処理を完全に制御できます。全体的に、Micro RIE 800は、非常に小さな機能と材料の精密エッチングのための優れたツールです。強力なマイクロ波源と最適化されたマッチングアセットを組み合わせ、高いエッチング率と優れたサンプル品質を提供します。