中古 TECHNICS Micro RIE 800 #9124004 を販売中

TECHNICS Micro RIE 800は、高精度プロセスで使用するために設計されたエッチングおよびアッシング機です。機械はエッチングおよびashingプロセスの正確で、反復可能な制御のために設計され、エッチングおよびashing変数の最終的な制御を提供します。静電気チャックを採用し、エッチングやアッシング操作時に基板を確実に固定します。このエッチャー/アッシャーは、そのユニークなデザイン機能のために優れた性能基準を持っています。調節可能なチャンバー圧力設定を備えた4つの独立した静電チャックステーションを備えているため、ユーザーは個々のジョブごとに設定を最適化することができ、スループットの向上、コスト削減、摩耗の軽減につながります。高解像度のサーマルイメージングシステムとソフトウェアにより、高精度のエッチングと均一性と再現性の両方を実現します。部屋のふたはまた作り付けの冷却管理を特色にします、改善されたプロセス均等性、反復性および正確さを可能にします。このモデルは、半導体、マイクロエレクトロニクス、バイオチップ産業における特定の用途向けに設計されています。これは、アプリケーションに応じてプロセスパラメータを調整する機能とともに、さまざまな個別および複数の基板エッチングおよびアッシング機能を提供します。また、素早く個々のウエハーパターンを認識する機能も備えており、エッチングプロセスパラメータを最適化することができます。技術的な面では、Micro RIE 800の解像度は25 μ mで、シリコン/二酸化ケイ素、シリカ、酸化アルミニウム、タングステン、チタンなどのさまざまな材料と互換性があります。低インダクタンスの3相パワー電源により、10mT未満の低圧要件を必要とし、精密な制御とプロセスの再現性を確保します。また、低誘導ガス供給を備え、電極を汚染から保護し、高品質のエッチング/アッシング結果を保証します。全体として、TECHNICS Micro RIE 800は、半導体、マイクロエレクトロニクス、バイオチップ業界のさまざまな用途に適した、信頼性の高い高精度エッチャー/アッシャーです。その解像度、再現性、精度により、ユーザーの品質保証とプロセス管理の改善が可能になり、運用コストが低くなり、スループットが向上し、コストが削減されます。