中古 TECHNICS DR 5100 #177471 を販売中

TECHNICS DR 5100は、集積回路（IC）製造プロセスにおけるエッチングおよびアッシング要件を処理するために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。自動ビームアライメント技術を備えたマルチビームエキシマーレーザーソースを使用して、ICの全領域でドライエッチングの高い均一性を実現し、デバイス性能を向上させます。DR 5100は、ユーザーフレンドリーな操作で完全に自動化された装置であり、ICファブにおいて、必要最小限の人員配置で正確かつ再現可能なプロセスを可能にします。高精度なパターンアライメントにより、正確な結果を得ることができます。プラットフォームは、矢印、異方性、メサ、ブランキングなどのさまざまなエッチングパターンに適応できます。このマシンには2つの独立したエッチングおよびアッシング処理チャンバーがあり、同じシステムからの同時エッチングとアッシングを可能にします。機械は高精度のエッチングの深さ制御、調節可能なエッチングの深さおよびashing速度、正確に調節可能なエッチングのプロセスパラメータおよび精密な側面の配給量の制御を提供します。TECHNICS DR 5100のポンプユニットは、ターボ分子ポンプと循環窒素パージとパージ機の2段階で構成されており、完全にきれいな真空を確保しています。精密なUVレーザーソースを搭載し、EthernetまたはRS232で制御できます。このツールは、生産中のICをカメラで監視および制御する機能と、プロセスモジュールから送信される信号の監視資産を備えています。これにより、リアルタイムプロセスフィードバック、およびウェーハ温度、窒素圧力、エッチング深さのリアルタイム監視が可能になります。これは、スループットを高め、生産プロセスを強化したいICファブにとって理想的なプラットフォームです。DR 5100は、集積回路のすべてのエッチングおよびアッシング要件を満たすように設計された信頼性が高く、堅牢で強力なエッチャー/アッシャーです。