中古 TECHNICS 500 II #9012846 を販売中

ID: 9012846
Barrel ashing system.
TECHNICS 500 IIエッチャー/アッシャーは、強力で効率的なドライフィルムのフォトレジストエッチング/アッシング装置です。最大1000℉ (538°C)の酸素アンダルゴンのstoichiometricバランスを提供し、エッチング/灰の速度を最適化し、エッチング/灰の一般的な違いを最小限に抑え、エッチング/灰の品質と均一性を向上させます。TECHNICS 500-IIは、強制対流加熱システムを使用して、チャンバー全体に均一な温度を提供します。独立した温度ヒーターの地帯は精密な温度調整、また異なったタイプの基質のためのさまざまなプロセス選択を可能にします。500 IIはまた、効率的な対流冷却ユニットを使用して、エッチング/アッシュウエハを素早く冷却します。500-IIは、自動化された微細リソグラフィの最高の要件を満たすために独自に策定されています。その制御機械は、酸素流量、抵抗厚さ、基板温度など、エッチング/灰の動作の重要なパラメータを調整するのに役立ちます。TECHNICS 500 IIは、高収率で動作しながら高速エッチング/灰の生産が可能であり、その信頼性と均一な結果が高く評価されています。独自の設計支援エッチング/アッシュプロセスにより、リソグラフィックの露出を最小限に抑え、過剰エッチングを低減し、オペレータは無駄を最小限に抑えて再現可能な結果を生み出すことができます。TECHNICS 500-IIは、高品質のフォトレジストのクイックエッチング/灰をリーズナブルなコストでお探しの方に最適です。
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