中古 TECHNICS 220-II #9124218 を販売中
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ID: 9124218
ウェーハサイズ: 4"
Barrel plasma asher
(3) Three gas channels with mass flow controllers
Stainless steel chamber process up to 4” dia
300 Watt 13.56 MHz power supply
Substrates.
TECHNICS 220-II etcher/asherは、1つのプラットフォームでエッチングとアッシングの両方の機能を組み合わせた、ユーザーフレンドリーで高性能なデスクトップ機器です。5つのメインモジュールで構成されたモジュール設計により、市販のほとんどのシステムよりもはるかに低コストで高品質で高精度な回路パターンとデバイスパターンの両方を作成できるように設計されています。220-IIエッチャー/アッシャーの最初のモジュールは、高速半導体エッチャーです。このエッチングモジュールは、優れたSi: Siエッチング速度を提供し、ユーザーは他の従来のシステムでは達成することが困難なエッチング精度の高いレベルを達成することができます。エッチングモジュールの高スループットにより、優れたスループット機能とエッチング深さに対する制御性が向上します。アッシングモジュールは強力な5チャネルRFプラズマ源を提供し、高温、高反応性フラックスを作成して効果的かつ正確なアッシング動作を実現します。TECHNICS 220-IIのアッシングモジュールは高温処理が可能で、Si、 SiO2、 SiN、ポリイミド、その他の高分子、誘電体など様々な材料のアッシングが可能です。システムの3番目のモジュールは、高速かつ正確なマスクレスリソグラフィーユニットを提供しています。220-IIのマスクレスリソグラフィーマシンは、デバイスやパターンの正確な定義を可能にする優れたパターン定義機能を提供する高解像度の投影ツールを使用しています。マスクレスリソグラフィーモジュールは、複数の設計をサポートするなどの他の機能とともに、複雑なデバイスを完了するための費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。アセットの4番目のモジュールは、リソグラフィ作業中のデバイスの重要な欠陥を識別および修正するために設計されたインライン検査モジュールを提供します。インライン検査モジュールにより、デバイスの重大欠陥を高速で検出および修正し、パス/フェイル基準を適用できます。さらに、高度なアルゴリズムを使用して検査精度を向上させることができます。5番目のモジュールは、デバイスのテスト、プロトタイピング、組立作業に必要な複数のハードウェアコンポーネントを提供する手動ロボットツールです。このツールを使用すると、重要なデバイスを素早く簡単に組み立てることができます。手動ロボットツールは、アプリケーション固有のデバイスのプロービング、現場での操作と分析、フォルトの分離などの追加機能も提供します。要するに、TECHNICS 220-II etcher/asherは、高品質で高精度な回路パターンとデバイスパターンの両方を生成したいユーザーに適したアクセス可能かつ強力なシステムです。5つのメインモジュールを通じて、このユニットはユーザーにエッチングとアッシング操作のための効率的で手頃な価格のソリューションを提供するように設計されています。
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