中古 TECHNICS 200E #9124211 を販売中
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ID: 9124211
Plasma etcher
Vent and one gas
Gas distribution via quartz tubes
Rotometer
Timer
220 V, 10A, 50Hz.
TECHNICS 200Eは、半導体加工によく使われるエッチャー/アッシャーです。様々な素材にスムーズなエッチングを短時間で作成できるツールです。200Eエッチャー/アッシャーは、パルスモードで最大出力150 W、最高処理温度400°Cを備えています。半導体加工部品のバッチまたは少量生産に最適なコンパクトユニットです。最大ウエハサイズ200mmの最大16個の加工チャンバを搭載し、0。1 µmから6 µmまでの部品を加工できます。TECHNICS 200Eは、動作特性に関して、エッチングプロセスの種類に応じて簡単かつ迅速にセットアップできます。ファジィなロジック制御機能により、材料ごとにエッチング処理をカスタマイズできます。さらに、200Eには、ユーザーがリアルタイムでエッチング処理を監視できるデータロギング機能が含まれています。TECHNICS 200Eは高精度でエッチングするように設計されています。これは、ユーザーが簡単にプロセスを監視することができます光学モニターを持っています。また、品質管理のための加工表面トポグラフィの研究を可能にする3D画像を作成することができます。200Eにより、ユーザーは最適なエッチング結果の条件を予測することもできます。安全面では、TECHNICS 200Eにはクローズドループシステムと緊急遮断機能が搭載されています。また、安全カバーと内蔵センサーを備えており、エラーが発生した場合にユニットをシャットオフします。全体として、200Eは信頼性が高く、使いやすいエッチャー/アッシャーであり、半導体加工用の高精度部品の作成に最適です。ユーザーフレンドリーな設計、強力な出力、精密なエッチングにより、半導体業界でのバッチまたは少量生産に最適です。
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