中古 TAINICS TEC2100 #9160922 を販売中

TAINICS TEC2100エッチャー/アッシャーは、薄膜、半導体材料、フォトレジストコーティングされたウェハなどの微細加工プロセスを容易にするために必要なすべての機能を備えた高度なエッチングおよびアッシング装置です。様々な基板で動作するように設計されており、最適化された基板処理を容易にするために、幅広い統合アクセサリーが装備されています。TEC2100はステンレス鋼から組み立てられ、高度なマイクロプロセッサによって制御される真空の部屋を特色にします。これにより、精密な温度制御が可能となり、超薄膜や精密部品などの重要基板のエッチングに最適です。このチャンバーは、塩酸などの有害物質を含むためにも使用でき、効率的なポンピングシステムにより、危険な蒸気が安全に避難することができます。このユニットには、エッチング時間を制御するオートシャットオフ機能、基板温度を制御する温度センサー、低汚染の作業環境を維持するための電子制御シールドドアなど、さまざまなカスタムアクセサリが装備されています。TAINICS TEC2100には12点式マルチヘッドヒーターもあり、最適な基板エッチングのためにさまざまなレベルの電圧と電流のサンプルを加熱することができます。TEC2100の直感的なタッチスクリーンコントロールパネルを使用すると、チャンバーの湿度、圧力、温度を簡単に監視したり、さまざまなプログラミング済みのエッチングレシピにアクセスできます。これにより、異なる材料や基材の一貫した信頼性の高いエッチングプロセスを保証します。この機械は垂直方向と水平方向の両方で動作し、さまざまなプロセスに柔軟性を提供します。TAINICS TEC2100は、長期的なパフォーマンスのために構築され、安心のための1年間の保証が含まれています。今日の微細加工プロセスの厳しいニーズに対応するために最適化されており、研究者、技術者、製造者にとって理想的なエッチングおよびアッシングツールとなっています。