中古 TAINICS TE3100 #9144232 を販売中

TAINICS TE3100は、半導体ウェーハおよび部品の精密エッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。TAINICS TE 3100は、独自のプロセス制御と精密な温度制御により、従来のバーンイン技術よりも優れた性能を発揮します。この装置は、直感的に設計されたタッチスクリーン制御インターフェースを使用して、プロセスパラメータの簡単なセットアップと調整を可能にします。TE3100はステンレス鋼から成っている独立して隔離されたプロセス部屋を高温および精密な温度調整を保障するのに利用します。これは、エッチングとアッシングのためのタイトな温度制御で、単一の15分のサイクルで800⁰Cまで温度に達することができます。TE 3100は、クリーニングやメンテナンスに特別なツールを必要としないユーザーフレンドリーに設計されています。コンパクトな設計により、ウェーハ製造エリアの近くにシステムを配置することができ、セットアップとクリーニングサイクルを迅速かつ簡単に行うことができます。オプションの排気ユニットを内蔵しているか、お客様の用途に合わせて外付け排気機で使用できます。また、TAINICS TE3100は、チャンバーの正確な温度制御を可能にする2つのプロセスガスオプションを備えています。不活性ガスオプションは、プロセス中の酸化からウェーハを保護するだけでなく、安定した雰囲気を提供するために使用されます。酸素ガスオプションは、エッチングまたはアッシングプロセスを制御するために使用されます。このツールはまた、0。1°Cの精度でチャンバの正確な温度制御、温度インジケータ、およびプロセス持続時間と温度測定用のLEDパネルディスプレイを備えています。TAINICS TE 3100は、すべてのエッチングおよびアッシングのニーズに対応する手頃な価格のソリューションです。プロセス部屋は反復可能な、信頼できる処理のために設計されています。また、オープンアーキテクチャを備えており、エッチングとアッシングのレシピとパラメータの柔軟性を実現しています。この資産はまた、最高のパフォーマンスを保証するために簡単な校正とメンテナンスを提供します。