中古 SUNIC Tenacier-400VE #9308329 を販売中

SUNIC Tenacier-400VEは、さまざまな業界で使用されている堅牢で信頼性の高いエッチングおよびアッシャー装置です。これは、このクラスで最も広く認識され、信頼性の高いマシンの一つです。Tenacier-400VEは、半導体ウェーハ、MEMS/NEMSなどの基材のエッチングとアッシングを容易にする統合エッチングおよびアッシャーシステムです。半導体ウェーハや集積回路（IC）をはじめ、医療・研究分野における幅広い用途に適しています。SUNIC Tenacier-400VEには、プロセス中の制御と精度を向上させるための精密ウェハハンドラと化学供給および管理ユニットが付属しています。RCOMSコントローラが付属しており、安全で再現性のある操作のためのクイックセットアップで使いやすいエッチング制御ソフトウェアを提供します。人間工学に基づいたツイスターのローディング&アンロード機、専用の液浸ヒーター、高度な超音速ファインクリーニングオプションが装備されています。エッチング操作とアッシング操作は、マシンの特定の機能セットを使用して同時に実行されます。クリーンな結果でエッチング処理を行うことができ、化学的乱れもなく、マークや傷もなく、再現可能な精度で一貫した面積カバレッジを提供します。プロセス中、機械は加熱された材料の正確な膜厚を感知し、それに応じてエッチング速度を調整する能力を持っています。また、内蔵のプロセスログ追跡機能を備え、リアルタイムで主要パラメータを監視し、材料の歪みやヒートショックの損傷を最小限に抑えるための圧力補正などの高度な制御機能を提供します。Tenacier-400VEは、化学/溶剤エッチング、ウェットエッチング、ドライエッチング、陽極結合、電気化学エッチング、プラズマエッチングなど、複数のプロセスを実行することができます。誘電体研磨や表面改質も可能です。機械に+/-0。2°Cの温度調整の正確さの40から320°Cの高温機能そして広い温度較差があります。超微細洗浄を可能にするマイクロスーパーソニックチャンバーも内蔵しています。SUNIC Tenacier-400VEは、エッチングおよびアッシングプロセスで使用するための安全で信頼性の高い機械です。安全で正確な操作により、産業用、研究用、医療用途に適しています。高度な制御機能により、再現可能な精度と優れた結果を持つさまざまなプロセスを実行することができます。