中古 SUMITOMO HC-4 #180254 を販売中

SUMITOMO HC-4は、半導体デバイス製造におけるフォトリソグラフィおよび関連アプリケーション向けに設計された高性能エッチング/アッシング装置です。日本製で、半導体ウェーハの製造に使用される業界標準のツールの1つです。このシステムは、高精度のエッチング、アッシング、アンダーカット処理を簡単に実行できます。半導体業界向けに設計された、幅広い機能と利点を備えた最先端のエッチング/アッシングユニットです。それは高精度および正確さの乾燥した抵抗、ポリイミド、ポリシリコン、アルミニウム、タングステン、等を、取除くことができます。HC-4は容易な取付けおよび操作のために設計されている密集した、安価機械です。これは、簡単なオペレータ制御のための統合されたタッチパネルディスプレイと囲まれたステンレススチールハウジングを備えています。このツールには、エッチングおよびアッシング操作を監視するための光学イメージデバイスも内蔵されています。アセットには、エッチングプロセスパラメータを監視および制御する自動プロセスコントローラが装備されています。これには、プロセスの信頼性を確保するためのエッチング剤とアッシング剤、圧力、および温度の濃度が含まれます。さらに、ガスパネルを装備し、リアクタントガスやアッシングパラメータの制御も可能です。SUMITOMO HC-4は、安全性とオペレータの利便性を高めるために、化学貯蔵や廃棄物の保管も行っています。さらに、遠隔操作や人間工学に基づいたケミカルハンドリングが可能なケミカルデリバリーシステム向けに設計されています。HC-4には、エッチングおよびアッシングプロセスの異常をすばやく検出できる自己診断装置も備えています。また、プログラム可能なバス制御用にも用意されており、リモート制御と他のサブシステムへの接続操作を可能にします。SUMITOMO HC-4は、製造技術者の社会から支持された品質マネジメントシステムでISO-9001に認定されており、製品の高品質を示しています。これにより、魅力的な価格でプレミアム性能を求める半導体デバイスメーカーにとって理想的なエッチングおよびアッシングユニットとなります。