中古品 STS / SPTS (エッチャー／アッシャー) を販売中

STS/SPTS （Surface Technology Equipment Ltd/Surface Plasma Treatment Solutions）は、半導体、MEMS、ナノテクノロジーなど、さまざまな産業で使用されるエッチャー/アッシャーのリーディングメーカーです。彼らの製品は、プラズマ処理と表面処理のための高度なソリューションを提供しています。STS/SPTSエッチャー/アッシャーの類似物は、信頼性が高く効率的であり、正確なプロセス制御と均一性を保証します。これらのシステムは、半導体、化合物半導体、金属、誘電体、ポリマーなど、幅広い材料を扱うように設計されています。高度なプラズマ生成・制御技術を搭載し、精密なエッチング・アッシングが可能です。STS/SPTSエッチャー/アッシャーの利点には、その汎用性、高スループット、優れたプロセス再現性、および低コストの所有コストがあります。これらのユニットは、バッチ処理、シングルウェーハ処理、またはロールツーロール処理が可能です。高度なエンドポイント検出および制御メカニズムを提供し、優れたプロセス制御と再現性を保証します。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度なソフトウェアは、操作とデータ分析の容易さを提供します。STS/SPTSエッチャー/アッシャーの例には、Multiplex ICP、 Pegasus、 CPXクラスタマシンなどがあります。Multiplex ICPは、単一のチャンバー内で複数のプロセスステップを処理できる高密度プラズマエッチングシステムです。Pegasusは、精密エッチングおよび表面処理用に設計されたハイスループットのシングルウェーハエッチングシステムです。CPX Clusterは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に柔軟な構成を提供するマルチチャンバーシステムです。全体として、STS/SPTSエッチャー/アッシャーは信頼性が高く、汎用性が高く、精密かつ再現性のあるプラズマエッチングおよびアッシングプロセスを半導体業界をはじめとする幅広い材料に提供する先進的なツールです。