中古 STS Pro ICP #9361815 を販売中

STS Pro ICPは、産業用ハイスループット生産用に設計されたエッチャー/アッシャーです。調整可能なプロセスパラメータ、層の選択性、およびプロセスレシピの正確な制御を可能にする下部チャンバー加熱などの高度な機能が装備されています。このプラットフォームは、RF誘導加熱技術を使用しており、0。1〜1000 MHzの範囲の周波数で動作することができます。最高の処理能力は700 Wまで、最高の温度較差は700-1200°Cです。この装置は、ドライプロセスエッチングとアッシング、ウェットおよびドライパターニング、酸化物成分、および高層エッチングなど、さまざまなプロセスレシピをサポートするようにプログラム可能です。また、インベッドプロファイリングや高性能プラズマエッチングなどの高度な機能も備えています。統合されたコントローラは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、システムを使いやすくセットアップできます。使いやすいソフトウェアは、幅広い柔軟なプロセスパラメータ設定オプションを提供し、高度なプロセスコントロールアルゴリズムにより、優れた安定性とプロセスの再現性を実現します。Pro ICPは、安全機能のスイートだけでなく、インターロックと完全な監視機能が含まれています。それは容易なトラブルシューティングおよび予防の維持の目的のための診断装置が装備されています。さらに、このマシンは、継続的な生産のためのインラインツールや柔軟性とジョブトラッキングのためのバッチアセットなど、多くのオートメーション構成で使用できます。このモデルは、さまざまなアプリケーションのスループットと汎用性の要件に合わせて拡張可能です。全体として、STS Pro ICPは信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなエッチャーであり、産業用ハイスループット生産に適しています。高度な機能、安全機能、オートメーション機能により、柔軟性が向上し、プロセス制御と再現性が向上します。