中古 STS Pro ICP #9294114 を販売中

STS Pro ICP
ID: 9294114
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8" (2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers) Operating system: Windows Vacuum load lock: Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers) Chamber lid temperature control Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber Process chamber: Turbo pump Chiller Single wafer process chamber VAT Pendulum valve Backside helium cooling Remote sealed extracted gas box with welded gas lines Electronic cabinet LCD Flat panel monitor Automatic multistep processing / Manual operation High frequency RF Generator Low frequency RF Generator Vacuum pump (Load lock) Vacuum pump (Chamber) ESD Chuck System cables.
STS Pro ICPは最先端のエッチャー/アッシャーで、産業、科学、医療アプリケーションのプロセスに迅速かつ正確に対応します。このエッチャー/アッシャーは、ほぼすべての環境で設計と測定の優れた品質出力を維持します。STS ICPは最高速度80,000 RPMのトップオブラインのミリングヘッドを備えています。高精度のモーターと送り速度により、高収率でスムーズな結果を得ることができます。その空気圧制御デザインは、生産設定調整の便利な監視のためのLCDディスプレイを組み込んでいます。STS ICPは、製造工程において精密な制御を提供しながら、それぞれ200〜2000 mm、 3〜12mmの幅広い幅と深さにも対応しています。また、さまざまな表面にエッチングするための3つのタイプのヒントを収容することができます。STS ICPは、優れた生産速度と設定範囲に加えて、二重真空アシストシステムも備えており、精度を保証し、灰になった表面の酸化を防ぎます。STS ICPにはマシンビジョンシステムが内蔵されており、細部のあらゆる部分を極めて正確に考慮して、自動化されたアライメントとセンタリングを支援します。また、ガルバノメーターと水冷チップ制御を搭載し、精度と再現性を高めています。STS ICPのハイテクなハードウェアと洗練されたソフトウェアを使用すると、ユーザーは利用可能な最も信頼性の高い精密なエッチングおよびアッシング・ソリューションにアクセスできることを確認できます。この製品は、顕微鏡、医療機器、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、およびその他のエンジニアリングおよび科学アプリケーションの幅広い用途に適しています。STS ICPは、その卓越した精度、迅速な処理時間、および耐久性のある構造により、あらゆる産業環境に最適なツールです。
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