中古 STS MXP Multiplex ICP HR #9005443 を販売中
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ID: 9005443
Advanced Silicon Etcher (ASE)
Process: Silicon etch bosch
Capable, 2"-8"
EDWARDS E2M40 Loadlock pump
PFEIFFER MAG 2000 High vacuum pump
EDWARDS IQMB250 Roughing pump
EDWARDS IQDP80 Roughing pump
ENI / ACG-3B RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 3001 RF Generator
Loadlock
(4) Gases
HUBER Unistat Chiller, 140 W
Gases: SF6, O2, Ar, C4F8
Balun coil ICP V2
Mechanical clamp
Helium backside cooling
(2) MkIV MPX Carousel, 6"
Power supply: 3 kW, 300/30 W Platen
Purge gas line
E-Rack modules:
HCL1
HCU3
HCU5
VAC3Y
(2) AMC1
HBC2
Operating system: Windows 2000
Power supply: 400 V, 50 Hz, 40 A, 3-Phase
Configured Power supply: 60 Hz, 208 / 460, 3-Phase
CE Marked
2003 vintage.
STS MXP Multiplex ICP HRは、複数のプロセス間のギャップを埋めるために設計された高度で高解像度のエッチャー/アッシャーです。高解像度、多重化、およびICP(誘導結合プラズマ)プロセスを利用して、精度、歩留まり、およびスループットを最大化します。このマシンの高解像度機能は、最先端の画像処理装置によって実現されています。このシステムは、アプリケーションに応じてエッチング解像度を調整することができ、最大18um(ミクロン)の解像度を可能にします。また、エッチングの均一性を確保するために、自動化されたアライメントとプロセス最適化ユニットを備えています。この多重化プロセスにより、大量のウェーハを同時に処理することができ、プロセスのバリエーションを減らし、歩留まりを増やすことができます。ICPプロセスは、他のエッチング法よりも強力で一貫したエッチング速度を生み出します。これは、重要な半導体アプリケーションにとって非常に有益です。エッチャー/アッシャーには、さらに強力な優れたハードウェア機能も付属しています。自動化された大型ローディングマシンにより、複数のウェーハを一気に処理しやすくなります。それはまた環境をほこりのない保ち、プロセスの有効性を高める特別な、封じられたICPの部屋が付属しています。MXP Multiplex ICP HRは、クリーンルーム環境に統合することもできます。独自のセットアップにより、より高いレベルの製造プロセス制御が可能となり、半導体分野や医療機器製造分野などの精密プロセスに最適です。STS MXP Multiplex ICP HRは優れたエッチャー/アッシャーであり、さまざまな製造プロセスに使用されます。高解像度、多重化、ICP機能により、精度が重要なアプリケーションに最適です。クリーンルーム環境にも適しており、高度なプロセス制御と精度を必要とする生産環境に最適です。
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