中古 STS / CPX Pegasus #293597735 を販売中
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ID: 293597735
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Etcher, 8"
(2) Chambers
Power Distribution Unit (PDU)
Cluster Tool Controller (CTC) Cabinet
(3) Rotary pumps
(2) Turbo pumps
(3) SMC HRZ-001 Chillers
Process module (PM2, PM3):
Source assembly
Lower assembly
Electrode assembly
External component
Gas box
MKS RF Generator, 6.5 kW
MKS / ENI ACG 3B RF Generator, 13.56 MHz
MKS Baratron gauge, 10^-4 to 10^-1 mTorr
MKS 750 Capacitance, 10-760 Torr
BOC EDWARDS Active gauge, 10^-4 mTorr to 10 Torr
Ceramic ESC
Pumpdown, 500 mTorr
APC Valve open
Load lock pump down, 80 mTorr
Gate valve open
Temperature: ±2° C
Forward power: ±1 % Vibration
Ref power: ±1% Vibration
Gases: SF6, C4F8, O2, N2, Ar
Flow rate (±2 % Vibration):
Gas / MFC
C4F8 / 400 SCCM
SF6 / 1200 SCCM
Ar / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
He / -
Transport module (TM):
MX600 Handler
Vacuum Cassette Elevator (VCE)
Safety node
Tracking optics
Inligner
(4) Coolers and (4) heaters:
House water
SMC HRZ-L2-DY DI Water chiller
SMC HRZL-D Silicon oil chiller
Insert heater
Gas tubes has been replaced
Power supply: 380 V, 60 Hz, 160 A
2006 vintage.
STS/CPX Pegasusは、Semflexグループが提供する高性能エッチング/アッシャー装置で、さまざまな基材に高度なエッチングおよびアッシング処理を提供します。このシステムは、最新の電磁エッチングおよびアッシング技術に基づいており、幅広いエッチングおよびアッシング用途において、一貫した再現性と高品質の結果を提供するように設計されています。STSペガサスユニットは、高度なマルチステーションハンドリングロボット、エッチングチャンバー、アッシング炉、および多数の高度な制御および監視システムで構成されています。このマシンは、さまざまな基板材料を扱うことができ、最大500mmのサイズのウェーハを扱うことができます。エッチングチャンバーは超高密度エッチングを提供するように設計されていますが、アッシング炉は高効率、制御可能、安全なアッシング操作を提供するように設計されています。マルチアームロボットは、エッチングチャンバーとアッシング炉の間でウェーハを転送するために使用されます。その洗練されたデザインは、ウェーハスピンを制御するだけでなく、エッチング工程全体にわたってウェーハの正確なシーケンスと位置決めを保証することができます。このロボットは、ウェーハの認識、ロード、アンロードも可能で、ウェーハのクリーニング、オリエンテーション、アライニングなど、さまざまな追加プロセスを制御できます。このツールは、高度な温度制御システム、空気とガスの流れの保護、監視と安全インターロックなど、さまざまなセキュリティと安全機能で設計されています。これらの機能は、エッチング作業中の潜在的なリスクを最小限に抑え、オペレータに安全で安全な体験を提供します。CPX Pegasusアセットはまた、その中で処理されるウェーハの品質と完全性を最大限に高めるように設計されており、優れた柔軟性とプロセス制御を提供します。革新的なナノテクノロジーと高度な制御システムにより、エッチングとアッシングにおいて、これまでにないレベルの精度と再現性を提供します。これらの機能はすべて、機器の汎用性に加えて、幅広いアプリケーション表面のエッチングおよびアッシングプロセスに最適なソリューションです。
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