中古 STS / CPX Multiplex #9399677 を販売中

STS/CPX Multiplexは、リソグラフィープロセス用に特別に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。特殊ハードウェアと高度なソフトウェアコンポーネントのユニークな組み合わせで設計されています。デュアルチャンバー設計を特徴とする効率的でコンパクトなメインフレームで構成されています。STS Multiplexは、最大4つの異なるマスクパターンを同時に処理できます。これは高度なソフトウェアと組み合わせて、リソグラフィープロセスを実行するために必要なデータと操作を直感的に管理します。最初のチャンバーでは、マルチバッチラスターが行われます。そのアーキテクチャは、異なる波長で2つのレーザービームを利用しています。高精度で任意の形状またはサイズのフォトレジスト基板上にポリマーの層を適用することができます。各バッチラスターは、1サイクルで最大40層を堆積することができます。2番目のチャンバーは、すべての部品が同時に正確に同じ場所に保持されるようにするのに役立ちます。この位置決めは、オートフォーカスカメラと静電容量センサーによって実現されます。これらのセンサは、電流と基板の各レベルの高さの違いを測定します。これにより、正しい位置に最大6種類のレイヤータイプを正確に配置できます。CPX Multiplexはまた、意図された結果に基づいて最も効率的で効果的な製造プロセスを同時に分析して確認できる特別に設計されたソフトウェア環境を使用しています。このソフトウェアには、ユーザーがプロセスパラメータを正確に制御できるさまざまなツールが含まれています。これには、さまざまなレイヤーの適用を微調整し、最適な結果を得るために露光時間、厚さなどのパラメータを調整することが含まれます。最後に、Multiplexには、データを監視し、リソグラフィープロセス全体でマシンのパフォーマンスを監視するメンテナンスシステムが装備されています。この機能には、使いやすいグラフィカルインターフェイスが含まれており、簡単にナビゲーションでき、ハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントに関する詳細情報が提供されます。これにより、必要に応じて効率的かつ効果的なサービスとトラブルシューティングが可能になります。結論として、STS/CPX Multiplexは、効率と精度でリソグラフィープロセスを改善するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。その専門ハードウェアと専用ソフトウェアの組み合わせは、詳細な結果を探している企業や個人にとって非常に貴重な資産となります。