中古 STS / CPX Multiplex #9316685 を販売中

STS/CPX Multiplexは、最先端のマイクロエレクトロニクス業界のニーズを満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャー機器です。このシステムは、複数のイオンビームとレーザー光源を使用して、3次元エッチング、ディープトレンチエッチング、ファインラインエッチング、裏面エッチング、ディープエッチングなど、多くのプロセスに精密エッチングとアッシングを提供します。これは完全に自動化されたユニットであり、最先端のソフトウェアにより、ユーザーは前例のない正確さと精度で、ほぼすべてのエッチングまたはアッシングプロセスを迅速に構成できます。機械はイオン源、レーザー光源および他の必要な部品を含んでいる主要な部屋から成っています。イオン源は、サンプルの特定の領域でビーム電力を同時に集中させながら、異なるプロセスで異なるイオンビームを生成できるように設計されています。レーザー光源は、サンプル表面に2次元形状を作成するために使用され、エッチングとアシェンの両方に使用することができます。さらに、このソースは、エッチングとアッシングの結果を改善するために、必要な場所に正確にレーザー出力を供給するために最適化することができます。チャンバー内の他のコンポーネントには、ウエハーマウントデバイス、イオンビームフィルター、および低温冷却ツールがあります。インテリジェントなGUIベースのソフトウェアは、エッチングとアッシングジョブを制御し、それに応じてアセットパラメータを設定し、プロセスのすべての段階を制御します。ユーザーは、ビーム傾き、電流、ビーム速度、ドウェル時間などの操作を含むエッチング/アッシングジョブを簡単にプログラムできます。STS Multiplexは、現場での正確なエッチング監視とプロセス灌漑の両方を備えているため、ジョブの精度をさらに向上させるために、調整を行うことができます。さらに、このモデルには内蔵のレシピライブラリが装備されており、ユーザーは頻繁に使用されるプロセスを思い出し、必要に応じてさらに調整することができます。全体として、CPX Multiplexは、最新のマイクロエレクトロニクス業界のニーズを満たすように設計された高度で高性能なエッチング/アッシュ機器です。多方向イオンビーム、レーザー光源、インテリジェントソフトウェアのおかげで、長時間のメンテナンスフリー操作で非常に正確な結果を得ることができます。