中古 STS / CPX Multiplex #9162410 を販売中
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ID: 9162410
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2002
ICP AOE system, 4"
Load lock
Previously used for oxide, pyrex, quartz etching
Process gases plumbed: C3F8, C4F8, SF6, CF4, Cl2, C2H4, O2, H2, Ar, He
(2) Affinity chillers
Chiller 1: RAA-005J-CE01CBD
Chiller 2: PWG-060K-BE33CBC2
Chuck: Mechanical clamp
LEYBOLD MAG 2000 CT turbo pump
MAG drive 2000 turbo controller
EDWARDS IQDP80 Dry pump
EDWARDS D40BCS Oil pump
MILLIPORE CDLD 1112E HE cooling manometer
ENI ACG-10B RF generator
AE RFG 3001 RF generator
Finger and ceramic ring has broken
208 V, 60 Hz, 3 phase, 80 A
Missing part:
Gas box
2002 vintage.
STS/CPXマルチプレックスエッチャー/アッシャーは、ウェーハのエッチングとアッシングを自動化した装置です。1回の作業で最大8つのウェーハを同時にアッシャーおよびエッチングするように設計されており、高い生産性、スループット、および費用対効果が得られます。STSは、安定した環境を提供し、より長い運用寿命を確保するために、ステンレス製のチャンバーで構築されています。1300°Cまでの温度に達することができる高温炉を備えており、シリコンなどのエッチングやアッシングに最適です。このシステムは、温度、プロセス時間、ガス流量などのプロセスパラメータを調整する機能も強化しています。アッシング/エッチングプロセスは、各レシピにプリセットし、実行時に監視することができます。CPXは、自動化されたタイムシーケンシング、温度ランププロファイリング、およびプロセスのセットポイント管理など、高度なプロセス制御を備えています。これにより、流量、温度設定点、サイクルタイムなどのプロセスパラメータを正確に制御できます。エッチングとアッシングの両方にさまざまな熱温度プロファイルをプログラムすることができるため、最も汎用性の高いエッチング/アッシングシステムの1つです。STS/CPXは、高度なモニタリングユニットを使用して、アッシングとエッチングの両方のプロセスを制御します。これには、チャンバー圧力のリアルタイムセンシング、ウェーハ状態の表示、最適なアッシング/エッチング性能のための自動キャリブレーションと圧力調整、およびエッチング/アッシングプロセスの直接制御アクセスが含まれます。最高の温度の均等性を提供する機械にまた部屋のすべてのウェーハ中のよい温度の均質性を保障するウェーハの処理用具の独特な設計があります。このアセットには、ウエハ用のコンピュータ制御リフト/ポジショニング、およびオプションの手動リフト/ポジショニングが装備されています。全体として、STS Multiplexエッチャー/アッシャーは、高効率、高スループットウェーハエッチングおよびアッシングに最適です。高度なプロセス制御、正確なパラメータ、均一な温度により、効率的で信頼性の高い生産に最適です。
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