中古 STS / CPX Multiplex #9145668 を販売中

ID: 9145668
ウェーハサイズ: 8"
Cluster ICP etcher, 8″ Brooks VCE4 and Mtr5 robot C033 Cluster handler (2) Temperature controlled lids Loadlock: Brooks VCE 4 with manual door Corema chiller on metal ICP chamber ICP Chamber (Metal, dielectric etch) (12) process gas manifold Bias capabilities Chuck: Heat exchanger Turbo pumps: TMH 100 Processed: Silicon etch ICT Chamber (Asher / Stripper) Gases: N2, O2, NH3, CF4 Turbo pump NOAH Chiller.
STS/CPX Multiplexは、セラミックパッケージやガラスのような基板のエッチングとトリミングに役立つように設計された特殊なエッチャー/アッシャーです。STSマルチプレックスは、幅広い用途で使用できる高精度のウェットエッチング/トリミング機です。これは、最適なエッチングとトリミングの結果を達成するために、統合された空冷真空装置を備えています。厚さ18mmまでの基板加工が可能で、セラミックスやガラスなどの基板のエッチングやトリミングに最適です。CPX Multiplexは、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)に取り付けられた強力なポンプユニットを備えており、エッチングおよびトリミング処理を正確に制御できます。これは、ユーザーが自分の特定のアプリケーションにマシンをさらにカスタマイズすることができますインターフェースが装備されています。これには、エッチングおよびトリミング圧力、速度、および時間の設定が含まれます。また、ツールが安全かつ効率的に動作することを保証するために、複数の組み込みの安全機能を備えています。Multiplexには、高度なエッチングとトリミングのソリューションをお探しのお客様に最適な最先端の機能が多数搭載されています。高精度のゲージアセットにより、ユーザーは各エッチングとトリムの深さを正確に測定できますが、組み込みのアライメントモデルはエッチングが常に完璧であることを保証します。その高度なマイクロプロセッサ制御装置は、プロセスとシステム間の迅速かつ正確なデータ伝送を提供し、ユーザーのエッチングが常に正確な仕様に最適化されるようにします。要約すると、STS/CPX Multiplexは、幅広い用途に対応する超精密エッチングおよびトリミングソリューションをお探しのお客様に理想的なエッチングおよびトリミングマシンです。統合された空冷真空ユニット、PLCに取り付けられた強力なポンプ機、および究極のエッチングとトリミング体験のための高度なマイクロプロセッサ制御ツールを備えています。
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