中古 STS / CPX Multiplex #9087826 を販売中

STS/CPX Multiplexは、1つのプロセスでさまざまな種類の材料を処理できるエッチャー/アッシャー装置です。PCB（プリント基板）、フラットパネルディスプレイ、薄膜、ガラス基板のエッチングやアッシングに主に使用されます。エッチャー/アッシャーシステムは、2つの独立した原子炉を持つ統合プラットフォームで構築されています。エッチングとアッシングのプロセスは、個別に制御されたSTSマルチプレックスドライブシステムによって制御されます。各ドライブユニットは、使用されるプロセスと材料タイプに固有のユニークなパラメータで構成されています。CPX Multiplex機械は優秀な広帯域etch/ashのプロフィールの高いエッチングおよび灰の比率を達成するために連続的なプラズマエッチング/ashing技術を利用します。このツールは、使用されている材料に固有の最適な結果を達成するために、エッチングと灰レベルの調整可能な範囲を提供します。このエッチャー/アセットは、最適なパフォーマンスを得るためにPCを介して制御されるように設計されています。制御ユニットを使用して、複数のプロセスを並列に実行して、本番稼働時間を節約できます。マルチプレックスは、ステンシルエッチングとシングルステップのパッシベーションプロセスを1つのパスで実行することもできます。これにより、個別のエッチングとパッシベーションプロセスが不要になります。本機のステンシルエッチングは、LIDS制御のプラズマエッチング技術を用いて実現しています。ステンシルエッチングプロセスは、滑らかな壁とアークなしで、高いアスペクト比と解像度を生成することができます。STS/CPX Multiplexは、信頼性が高く高速で高効率なエッチャー/アッシャープラットフォームです。オープントップ設計、インターロック、温度監視、過圧警報など、さまざまな安全機能を備えています。STSマルチプレックスシステムは、迅速なターンアラウンド、高い信頼性、優れた性能を提供するために、厳格な品質管理で製造されています。それらは信頼できるサービスの年を提供するように設計されています、それらをさまざまな適用および企業のために理想的にさせます。