中古 STS / CPX Multiplex #9071736 を販売中

STS/CPX Multiplexは、フォトマスク基板のハイスループット処理用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。マルチプローブエッチング/アッシング技術を使用して、High Aspect Ratio （HAR）エッチング/アッシング、サイドエッチング/アッシング、その他の高度なプロセス技術など、幅広いアプリケーション要件に対応しています。このシステムは、安定性、一貫性、高スループットを考慮して設計されており、1回の実行で最大200個のサンプルを処理できます。ユニットの中心には、高精度のデュアルプローブステージがあり、プロセス制御のタイトなパラメータ内で動作し、再現性と信頼性の高いエッチング/アッシングの結果を保証します。このデュアルプローブは非常に微細な精度を提供し、幅広いプロセスパラメータ調整を可能にします。また、ユーザーが適切なエッチング/アッシングマスクを迅速かつ正確に生成することができる統合スキャン技術を搭載しています。これにより、高精度プロセスの精度と速度が大幅に向上し、サイクル時間が短縮され、スループットが向上します。このツールの高度なエンドポイント検出機能により、重要なプロセスステップを正確に監視し、過剰および過小エッチング/アッシュの両方と汚染のリスクを大幅に低減できます。STS Multiplexは、低摩耗技術を使用して、単層および二層フォトマスクを含む幅広い材料を処理し、複数のジョブにわたって一貫したエッチング/アッシング結果を提供します。CPX Multiplexシステムは完全なデジタル制御を備えており、適用可能なすべての材料に精密で均一なエッチング/アッシングを可能にし、オペレータエラーリスクを低減します。また、堅牢なエンドポイント検出機能を備えているため、正確な製品スループットと均一な結果が得られます。このアセットには、高解像度のリアルタイム温度監視、エッチング/アッシング曲線のリアルタイムプロット、統合されたユーザーフレンドリーなグラフィックインターフェイスなど、さまざまなハードウェアおよびソフトウェア機能が含まれています。このモデルは、特定のアプリケーションに合わせて調整し、同時に適用できる幅広いプロセスパラメータを備えており、正確で信頼性の高いプロセス制御を提供します。マルチプレックスエッチャー/アッシャーシステムは、最新のエッチング/アッシング技術および材料と互換性があり、最先端のプロセス制御システムと統合されています。堅牢なフルファンクションデザインは、さまざまな材料で高品質で信頼性の高いエッチング/アッシング性能を提供し、プロセスの安定性により、重要なプロセスを正確に監視および実行できます。また、この装置は最大限の柔軟性と汎用性を提供し、さまざまなアプリケーション要件とエッチング/アッシング材料との互換性を可能にします。このシステムは、最も厳しいアプリケーションのニーズを満たす、高スループットで信頼性の高いエッチング/アッシングプロセスをユーザーに提供します。