中古 STS / CPX Multiplex #293725291 を販売中
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ID: 293725291
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2000
Etcher, 4"
Material used: Gas
Gas box
QDP80 Pump
900 Turbo pump
Chiller
RF
No ESC
Throttle valve
Back side cooling
Loadlock
No end point detection system
Operating system
2000 vintage.
STS/CPX Multiplexは、集積回路の製造用に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。マルチステップエッチング、合金化、沈着プロセスを同時に行うことができます。STS Multiplexには、お客様のアプリケーション固有のニーズに合わせてカスタマイズできるさまざまなモジュラーコンポーネントが含まれています。CPX Multiplexは、最適なパフォーマンスと高スループットを実現する最適な設計を備えています。これは、低温で効率的なエッチングのための高度なマルチプレックスピストンエッチングと充電回路を内蔵しています。エッチャーは、電気化学エッチングチャンバーとイオンビームエッチングチャンバーの2つの主要なコンポーネントで構成されています。エッチングチャンバーは、損傷や揮発性の化学物質の脱出を防ぎ、最適な温度と圧力を維持するために密閉および加圧されます。イオンビームエッチングチャンバーは、ガス供給装置を使用してイオンビーム電圧を制御し、精密エッチングのための均一な経路でビームを含みます。STS/CPX Multiplexのベーキングシステムは、オーブン、予熱器、冷却ゾーン、排気ユニットで構成されています。オーブンおよび予熱器は1000°C。までウェーハを予熱し、焼き、アニールするのに使用されています。冷却ゾーンは、穏やかな対流冷却を提供することにより、温度を下げるのに役立ちます。そのインテリジェントコントロールは、ベーク条件の均一性と層の厚さの均一性を確保するためにベーキングプロセスを調整します。エキゾーストマシンは、ベーキングプロセス中に放出される有害な化学物質をキャプチャします。STS Multiplexには、高度なマイコン制御電気めっきツールも含まれています。このアセットは、均一なめっきのために調整されたDC電圧と連続電流をめっき表面に供給します。CPX Multiplex電気めっきモデルは、複数のエッチングおよびメッキ工程で調整可能な設定を備えているため、柔軟性とカスタマイズ性が向上します。Multiplexは高度な合金プロセスも備えています。このプロセスにより、さまざまな金属/ポリマー/酸化物材料を異なる基板に堆積させることができます。合金プロセスはまた、高度な製品設計のための様々な特殊材料に対応するために適応することができます。STS/CPXマルチプレックスエッチャー/アッシャーは、集積回路の製造のための高度な選択肢です。その設計により、高いスループット、精度、均一性を備えた効率的なエッチング、合金化および蒸着プロセスが可能になります。モジュラーコンポーネントにより、ユーザーは特定のアプリケーションに合わせて機器をカスタマイズできます。
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